[實用新型]一種靶材背板結構

有效

• 申請號: 201821044039.3
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN208733208U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發明（設計）人: 孫偉華
• 申請（專利權）人: 江蘇迪丞光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/35
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 梁永昌

本實用新型公開了一種靶材背板結構，其結構包括背板結構、承接板、散熱鋁材和冷媒組件，所述背板結構上設有承接板，所述承接板的下方設有散熱鋁材，所述散熱鋁材的下方設有冷媒組件，所述承接板通過散熱鋁材與冷媒組件固定連接，所述冷媒組件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，該一種靶材背板結構，可通過在承接板的下方設置一組散熱鋁材，再借由底板上的主側板、副側板支撐之后，內部的鋁片組會與承接板進行接觸，對靶材表面產生的溫度進行傳遞，可通過在散熱鋁材的下方設置一個冷媒組件，冷媒組件在上方冷媒板的表面上設置蛇形彎曲的冷媒管，可對冷媒進行傳遞，便于對上方散熱鋁材吸收的熱量進行交換，結構簡單，易于實現。

技術領域

本實用新型涉及靶材背板技術領域，具體為一種靶材背板結構。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。例如：蒸發磁控濺射鍍膜是加熱蒸發鍍膜、鋁膜等。更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)，而靶材背板是配合靶材進行安裝的一種基材。

目前，現有的靶材背板可配合靶材進行使用，但是在實際使用中，傳統具有冷卻水道的靶材背板主要是采用無氧銅材質加工形成具有冷卻水道的基板，然后以無氧銅材質的上蓋板覆蓋基板，接著再對基板與上蓋板的接縫進行密封焊接，借著無氧銅材質能快速吸收熱量的優點，傳統靶材背板可迅速將靶材于鍍膜制程中所產生的高溫熱量帶走，然而由于無氧銅材質的密度較大且強度不佳，因此造成靶材背板需具備足夠的厚度以增加強度，進而使得傳統靶材背板的重量亦相對較重，并造成材料成本增加且焊接困難等問題，其次在對于高溫的處理上，只是以轉移為主，缺少有效的消散方式，使得散熱效果大打折扣，然后冷卻水道的設置在使用中也會出現泄漏的情況，這些都是實際存在而又急需解決的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種靶材背板結構，解決了背景技術中所提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種靶材背板結構，其結構包括背板結構、承接板、散熱鋁材和冷媒組件，所述背板結構上設有承接板，所述承接板的下方設有散熱鋁材，所述散熱鋁材的下方設有冷媒組件，所述承接板通過散熱鋁材與冷媒組件固定連接，所述冷媒組件包括冷媒板、冷媒管、冷媒入口、冷媒出口，所述冷媒組件上設有冷媒板，所述冷媒板的表面設有冷媒管，所述冷媒管通過冷媒板與冷媒組件固定連接，所述冷媒管的兩端分別固定設有冷媒入口、冷媒出口。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述散熱鋁材的下方設有底板，所述底板的表面設有主側板，所述主側板的側面設有副側板，所述主側板、副側板通過底板與冷媒組件固定連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述主側板、副側板的內側設有鋁片組，所述鋁片組通過冷媒組件與主側板、副側板接觸連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述冷媒板的表面設有連接帽，所述連接帽的下方設有連接柱，所述連接柱通過連接帽與冷媒板固定連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述承接板的表面設有承接槽，所述承接槽通過承接板與散熱鋁材固定連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述冷媒組件的表面設有連接孔，所述冷媒板通過連接柱與冷媒組件固定連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述背板結構的表面固定設有固定孔。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：