[實用新型]一種靶材背板結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821044039.3
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN208733208U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設計）人: 孫偉華
• 申請（專利權）人: 江蘇迪丞光電材料有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/35
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權代理有限公司 11616
• 代理人: 梁永昌

1.一種靶材背板結構，其結構包括背板結構(1)、承接板(3)、散熱鋁材(5)和冷媒組件(10)，其特征在于：所述背板結構(1)上設有承接板(3)，所述承接板(3)的下方設有散熱鋁材(5)，所述散熱鋁材(5)的下方設有冷媒組件(10)，所述承接板(3)通過散熱鋁材(5)與冷媒組件(10)固定連接；

所述冷媒組件(10)包括冷媒板(12)、冷媒管(13)、冷媒入口(14)、冷媒出口(15)，所述冷媒組件(10)上設有冷媒板(12)，所述冷媒板(12)的表面設有冷媒管(13)，所述冷媒管(13)通過冷媒板(12)與冷媒組件(10)固定連接，所述冷媒管(13)的兩端分別固定設有冷媒入口(14)、冷媒出口(15)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述散熱鋁材(5)的下方設有底板(6)，所述底板(6)的表面設有主側板(7)，所述主側板(7)的側面設有副側板(8)，所述主側板(7)、副側板(8)通過底板(6)與冷媒組件(10)固定連接。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述主側板(7)、副側板(8)的內側設有鋁片組(9)，所述鋁片組(9)通過冷媒組件(10)與主側板(7)、副側板(8)接觸連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述冷媒板(12)的表面設有連接帽(16)，所述連接帽(16)的下方設有連接柱(17)，所述連接柱(17)通過連接帽(16)與冷媒板(12)固定連接。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述承接板(3)的表面設有承接槽(4)，所述承接槽(4)通過承接板(3)與散熱鋁材(5)固定連接。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述冷媒組件(10)的表面設有連接孔(11)，所述冷媒板(12)通過連接柱(17)與冷媒組件(10)固定連接。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種靶材背板結構，其特征在于：所述背板結構(1)的表面固定設有固定孔(2)。