[實(shí)用新型]一種紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)及CVD加熱系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821042608.0
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208776838U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 管長樂;南建輝;張虎威;么曼實(shí)
• 申請（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C16/48
• 分類號: C23C16/48
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

1.一種紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括主加熱件和補(bǔ)償加熱件，所述主加熱件包括多個(gè)平行排布的主加熱燈管，所述補(bǔ)償加熱件包括多個(gè)補(bǔ)償加熱燈管，所述主加熱燈管所在的平面與所述補(bǔ)償加熱燈管所在的平面平行或?yàn)橥黄矫妫鲅a(bǔ)償加熱燈管在所述主加熱燈管所在的平面上的正投影與所述主加熱燈管組成矩形，且所述補(bǔ)償加熱燈管的正投影位于所述矩形的四個(gè)邊角處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主加熱燈管包括第一加熱燈管和第二加熱燈管，所述第二加熱燈管在所述第一加熱燈管垂直于主加熱燈管的方向上的兩側(cè)對稱設(shè)置，所述第一加熱燈管的長度大于所述第二加熱燈管的長度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)償加熱燈管包括第四加熱燈管，所述第四加熱燈管在所述主加熱燈管所在的平面上的正投影位于所述第二加熱燈管的兩端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主加熱燈管還包括第三加熱燈管，所述第三加熱燈管在所述第一加熱燈管垂直于主加熱燈管的方向上的兩側(cè)對稱設(shè)置，且所述第三加熱燈管與所述第一加熱燈管之間為所述第二加熱燈管，所述第二加熱燈管的長度大于所述第三加熱燈管的長度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述補(bǔ)償加熱燈管還包括第五加熱燈管，所述第五加熱燈管在所述主加熱燈管所在的平面上的正投影位于所述第三加熱燈管的兩端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主加熱燈管的形狀為直線型，所述補(bǔ)償加熱燈管的形狀為L型。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任意一項(xiàng)所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述主加熱燈管下表面均設(shè)有反射層，當(dāng)所述補(bǔ)償加熱燈管位于所述主加熱燈管的下方時(shí)，所述補(bǔ)償加熱燈管的下表面設(shè)有反射層，當(dāng)所述補(bǔ)償加熱燈管位于所述主加熱燈管的上方時(shí)，所述補(bǔ)償加熱燈管的上表面設(shè)有反射層。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一加熱燈管、所述第二加熱燈管和所述第三加熱燈管，以及所述補(bǔ)償加熱件中的每根所述補(bǔ)償加熱燈管均具有獨(dú)立的控制器。

9.一種CVD加熱系統(tǒng)，其特征在于：包括如權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的紅外加熱燈管排布結(jié)構(gòu)，被加熱件的載板放置于所述主加熱燈管上方。