[實用新型]一種多用途掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201821039538.3
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208284450U
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 郜鮮輝;羅慧倩;吳金金;李明輝
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 尚威;李智

本實用新型公開了一種多用途掃描電鏡樣品臺，屬于分析用試驗設備領域，包括：樣品臺主體、階梯軸插臺、插臺緊固螺釘以及兩個樣品緊固螺釘；樣品臺主體包括主體部以及從主體部向上延伸的兩個支架；兩個支架上各設有一個水平螺紋孔，兩個水平螺紋孔同軸且對稱布置；兩個樣品緊固螺釘一一對應設于兩個水平螺紋孔中；主體部上設有三通孔，三通孔包括貫通主體部的豎直通孔以及連通豎直通孔與主體部側壁的插臺緊固螺紋孔；階梯軸插臺上部為樣品承載臺，下部為插臺桿；插臺桿插入豎直通孔中，插臺緊固螺釘穿過插臺緊固螺紋孔將插臺桿固定于豎直通孔中。本實用新型操作方便，可以實現不同高度樣品的穩固裝夾，結構簡易、加工方便、適用性強。

技術領域

本實用新型屬于分析用試驗設備領域，更具體地，涉及一種多用途掃描電鏡樣品臺。

背景技術

掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡(scanning electron microscope，SEM)，是一種采用電子束為光源的表面觀察手段，通過收集電子束與樣品表面物質作用后產生的信號進行成像，極高的放大倍數和圖像分辨率使之成為一種十分先進的樣品表面表征手段。同時掃描電鏡配備的電子背散射衍射(Electron Backscattered Diffraction，EBSD)附件，可以獲得材料的結構和取向信息，近些年來已成為晶體材料尤其是金屬材料、陶瓷材料分析不可或缺的有力工具，是高水平論文必不可少的分析手段之一。

在使用掃描電鏡分析時樣品穩固裝夾是很重要的要求之一，通常用到最多的固定手段是導電膠，但對于小而薄的塊狀樣品的加持不適用，在后續測試中則會出現樣品表面采集圖像漂移的現象，嚴重影響拍攝效果和放大倍數。尤其在測試EBSD時，小而薄的塊狀樣品和大而厚的塊狀樣品需要傾斜70°，此時既要求樣品穩固裝夾又要避免由于樣品自重引起的圖像漂移現像，用導電膠固定樣品很難滿足要求。

實用新型內容

針對現有技術的以上缺陷或改進需求，本實用新型提供了一種多用途掃描電鏡樣品臺，其目的在于，通過高度可調的樣品承載臺配合操作方便，可重復使用，可以實現不同高度樣品的穩固裝夾，完全避免使用導電膠，既提高測試過程樣品穩定性，又從經濟上節約制樣成本，可滿足SEM，EBSD的測試需求。

為實現上述目的，按照本實用新型的一個方面，提供了一種多用途掃描電鏡樣品臺，包括：樣品臺主體、階梯軸插臺、插臺緊固螺釘以及兩個樣品緊固螺釘；

樣品臺主體包括主體部以及從主體部向上延伸的兩個支架；兩個支架上各設有一個水平螺紋孔，兩個水平螺紋孔同軸且對稱布置；兩個樣品緊固螺釘一一對應設于兩個水平螺紋孔中；主體部上設有三通孔，三通孔包括貫通主體部的豎直通孔以及連通豎直通孔與主體部側壁的插臺緊固螺紋孔；

階梯軸插臺上部為樣品承載臺，下部為插臺桿；插臺桿插入豎直通孔中，插臺緊固螺釘穿過插臺緊固螺紋孔將插臺桿固定于豎直通孔中。

進一步地，插臺桿的長度確保在夾持樣品時，插臺桿的下端凸出于豎直通孔外，以與掃描電鏡的載物臺上的安裝孔匹配。

進一步地，豎直通孔上部為沉頭孔，樣品承載臺與沉頭孔的沉頭部分形狀尺寸配合，插臺桿與豎直通孔尺寸匹配。

進一步地，樣品承載臺為圓形，沉頭孔為圓孔。

進一步地，樣品臺主體中部沉頭圓孔和階梯軸插臺頭部之間為間隙配合，間隙單邊間隙不超過0.5mm。

進一步地，樣品承載臺為圓形。

總體而言，本實用新型所構思的以上技術方案與現有技術相比，結構簡單，操作方便，可重復使用，可以實現不同高度樣品的穩固裝夾，完全避免使用導電膠，簡化樣品裝夾定位過程，并且既能提高測試過程樣品穩定性，又能從經濟上節約制樣成本，可滿足SEM、EBSD的測試需求。

附圖說明

圖1是本實用新型的樣品臺結構示意圖；