[實用新型]一種多用途掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 201821039538.3
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208284450U
• 公開（公告）日: 2018-12-25
• 發明（設計）人: 郜鮮輝;羅慧倩;吳金金;李明輝
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 尚威;李智

1.一種多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，包括：樣品臺主體(3)、階梯軸插臺(1)、插臺緊固螺釘(4)以及兩個樣品緊固螺釘(2)；

樣品臺主體(3)包括主體部(31)以及從主體部(31)向上延伸的兩個支架(32)；兩個支架(32)上各設有一個水平螺紋孔(33)，兩個水平螺紋孔(33)同軸且對稱布置；兩個樣品緊固螺釘(2)一一對應設于兩個水平螺紋孔(33)中；主體部(31)上設有三通孔，三通孔包括貫通主體部(31)的豎直通孔(34)以及連通豎直通孔(34)與主體部(31)側壁的插臺緊固螺紋孔(35)；

階梯軸插臺(1)上部為樣品承載臺(11)，下部為插臺桿(12)；插臺桿(12)插入豎直通孔(34)中，插臺緊固螺釘(4)穿過插臺緊固螺紋孔(35)將插臺桿(12)固定于豎直通孔(34)中。

2.如權利要求1所述的一種多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，插臺桿(12)的長度確保在夾持樣品時，插臺桿(12)的下端凸出于豎直通孔(34)外，以與掃描電鏡的載物臺上的安裝孔匹配。

3.如權利要求1或2所述的多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，豎直通孔(34)上部為沉頭孔(36)，樣品承載臺(11)與沉頭孔(36)的沉頭部分形狀尺寸配合，插臺桿(12)與豎直通孔(34)尺寸匹配。

4.如權利要求3所述的多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，樣品承載臺(11)為圓形，沉頭孔(36)為圓孔。

5.如權利要求4所述的多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，樣品臺主體中部沉頭圓孔和階梯軸插臺頭部之間為間隙配合，間隙單邊間隙不超過0.5mm。

6.如權利要求1或2所述的多用途掃描電鏡樣品臺，其特征在于，樣品承載臺(11)為圓形。