[實用新型]晶片測試變角位臺

有效

• 申請號: 201821035730.5
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN208296785U
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發明（設計）人: 甄偉;趙松彬
• 申請（專利權）人: 丹東新東方晶體儀器有限公司
• 主分類號: G01B15/00
• 分類號: G01B15/00
• 代理公司: 沈陽利泰專利商標代理有限公司 21209
• 代理人: 張玉甫

1.晶片測試變角位臺，包括X射線定向儀部分、基準板工作臺部分、兩個微調機構和V型定位槽位置調整部分；其特征在于：

X射線定向儀部分包括射線光閘（2）和測角儀（3）；

測角儀（3）主軸上設置角位臺（16）；

角位臺（16）上輸出轉動部固定設置L型的貼片板座（15）的橫向部分，L型的貼片板座（15）的豎向部分固定支撐橫向設置的基準板（10）；

基準板工作臺部分包括基準板（10）；

基準板（10）的左側前后分別設有前后相對設置的兩個微調機構；

基準板（10）的右側上表面設有V型定位槽位置調整部分。

2.根據權利要求1所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：

V型定位槽位置調整部分包括調整塊機構和螺旋測微儀（12）；

調整塊機構包括V型塊（19）、套筒（21）、滑動軸（22）、彈簧（23）和調整塊（11）；

豎向設置V型塊（19）與橫向設置的滑動軸（22）間固定，彈簧（23）套裝在滑動軸（22）上，滑動軸（22）及彈簧（23）均裝在套筒（21）的軸向通孔內；

彈簧（23）位于套筒（21）右開口處，彈簧（23）內端與套筒（21）內凸臺相抵頂，彈簧（23）外端與滑動軸（22）右部凸臺內側相抵頂；

L型的調整塊（11）的橫向部分固定安裝在基準板（10）上表面右側，L型的調整塊（11）豎向右部有橫向的孔，與螺旋測微儀（12）左部護套固定，螺旋測微儀（12）左部伸縮桿與滑動軸（22）右部凸臺外側的球頭外表面接觸；

V型塊（19）的底部有向左側凸起的V型尖端（38）。

3.根據權利要求2所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：

滑動軸（22）上設有軸向的導向鍵（41），與套筒（21）內壁的導向鍵槽滑動配合。

4.根據權利要求2所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：

V型尖端（38）位于基準板（10）上左右方向開設的凹槽（39）內。

5.根據權利要求1所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：基準板（10）中心下方帶有氣管接頭（9）。

6.根據權利要求1所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：每個微調機構（5）均包括夾緊座（28）、軸用擋圈（27）、調整桿（26）、滑動柱（25）、滑動鍵塊（30）和限位軸（31）；

夾緊座（28）豎向設置，夾緊座（28）的橫向孔內穿設有橫向設置的調整桿（26），夾緊座（28）的橫向孔和調整桿（26）光桿間隙配合；

調整桿（26）桿頸上套設軸用擋圈（27），軸用擋圈（27）固定在夾緊座（28）孔內側，軸用擋圈（27）和調整桿（26）間隙配合；

調整桿（26）穿過夾緊座（28）后，調整桿（26）的螺紋部分穿入聯接座（24）內，調整桿（26）與位于聯接座（24）內的橫向設置的滑動柱（25）內孔螺紋配合；夾緊座（28）和聯接座（24）固定；

滑動柱（25）上部固定設有滑動鍵塊（30），滑動鍵塊（30）上表面固定設有豎向限位軸（31）；

聯接座（24）上部開設有長條孔，滑動鍵塊（30）設置在長條孔內，限位軸（31）位于長條孔上方外側；

聯接座（24）和夾緊座（28）均與基準板（10）進行固定；

微調機構（5）所在的基準板（10）處開設空槽，限位軸（31）伸出到空槽上方，兩組微調機構（5）位于基準板（10）測量點（42）前后兩側。

7.根據權利要求6所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：夾緊座（28）的橫向孔下方開有豎向通槽（46），將夾緊座（28）下部分為兩個夾緊端（45），兩個夾緊端（45）之間穿設滾花高頭螺釘（29）。

8.根據權利要求1所述的晶片測試變角位臺，其特征在于：基準板（10）和L型的貼片板座（15）的豎直部分之間有加強筋（14）。