[實(shí)用新型]一種高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821033373.9
• 申請(qǐng)日: 2018-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN208505182U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)沙學(xué)院
• 主分類號(hào): G01B5/06
• 分類號(hào): G01B5/06
• 代理公司: 泰州地益專利事務(wù)所 32108
• 代理人: 譚建成

本實(shí)用新型提供了一種高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置，該高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置包括：支撐件，包括架體、通軸，以及圓形筒柱，其中，圓形筒柱用于纏繞薄膜；還包括用于驅(qū)動(dòng)圓形筒柱轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；計(jì)量卷軸，薄膜的外露端平行收緊在計(jì)量卷軸上，計(jì)量轉(zhuǎn)軸的一端連接有驅(qū)動(dòng)計(jì)量卷軸旋轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，計(jì)量卷軸遠(yuǎn)離第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)有凸起；記圈器，第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)計(jì)量卷軸旋轉(zhuǎn)至設(shè)定位置時(shí)，凸起抵壓一次記圈器的開關(guān)；還包括計(jì)米器、直徑測(cè)量?jī)x、計(jì)算模塊；通過(guò)計(jì)量卷軸每旋轉(zhuǎn)一次按壓一次記圈器，設(shè)有的記圈器和直徑測(cè)量?jī)x通過(guò)計(jì)算模塊計(jì)算出每層薄膜的平均厚度，設(shè)有的計(jì)米器記錄在同一設(shè)定長(zhǎng)度反復(fù)進(jìn)行測(cè)量，使該裝置準(zhǔn)確性更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及到薄膜厚度測(cè)量裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

薄膜是非常薄的膜體，薄膜的厚度直接影響其質(zhì)量和使用價(jià)值，在現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)量薄膜時(shí)，往往只是對(duì)薄膜的某個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，不足以拿來(lái)進(jìn)行參考。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置。

本實(shí)用新型是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

本實(shí)用新型提供了一種高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置，該高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置包括：支撐件，包括架體，與所述架體轉(zhuǎn)動(dòng)連接的通軸，以及套裝在所述通軸上并與所述通軸固定連接的圓形筒柱，其中，所述圓形筒柱用于纏繞薄膜；還包括用于驅(qū)動(dòng)所述圓形筒柱轉(zhuǎn)動(dòng)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；

計(jì)量卷軸，所述薄膜的外露端平行收緊在所述計(jì)量卷軸上，所述計(jì)量卷軸的一端連接有驅(qū)動(dòng)所述計(jì)量卷軸旋轉(zhuǎn)的第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述計(jì)量卷軸遠(yuǎn)離所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端設(shè)有凸起；

記圈器，所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述計(jì)量卷軸旋轉(zhuǎn)至設(shè)定位置時(shí)，所述凸起抵壓一次所述記圈器的開關(guān)；

計(jì)米器，用于測(cè)量所述薄膜收納在與所述計(jì)量卷軸上的米數(shù)；

直徑測(cè)量?jī)x，用于測(cè)量所述測(cè)量所述計(jì)量卷軸上所收納薄膜的厚度；

計(jì)算模塊，在所述計(jì)米器檢測(cè)的所述薄膜纏繞到所述計(jì)量卷軸上設(shè)定長(zhǎng)度時(shí)，根據(jù)所述直徑測(cè)量?jī)x測(cè)量的纏繞到所述計(jì)量卷軸上的直徑以及所述記圈器測(cè)量的纏繞到所述計(jì)量卷軸上的薄膜的圈數(shù)計(jì)算所述設(shè)定長(zhǎng)度的薄膜的平均厚度。

優(yōu)選的，所述通軸沿周向設(shè)有多個(gè)支撐腿，所述多個(gè)支撐腿分別支撐所述圓形筒柱的內(nèi)壁。

優(yōu)選的，所述通軸延伸出所述圓形筒柱的兩端分別與所述架體轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為第一電機(jī)，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接所述通軸的一端；所述第二驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸連接所述計(jì)量卷軸的一端；其中，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)和所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)同向旋轉(zhuǎn)，并且轉(zhuǎn)速相同。

優(yōu)選的，還包括安裝所述計(jì)量卷軸、所述計(jì)米器、所述記圈器、所述直徑測(cè)量?jī)x以及所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的安裝架。

優(yōu)選的，所述計(jì)米器固定安裝在所述安裝架上，所述計(jì)米器的米輪與所述薄膜相抵壓，所述薄膜運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)所述米輪旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的，所述計(jì)米器為以毫米為單位的計(jì)米器。

優(yōu)選的，所述計(jì)算模塊連接有顯示計(jì)算數(shù)據(jù)結(jié)果的顯示屏。

本實(shí)用新型的有益效果是：通過(guò)計(jì)量卷軸每旋轉(zhuǎn)一次按壓一次記圈器，設(shè)有的記圈器和直徑測(cè)量?jī)x通過(guò)計(jì)算模塊計(jì)算出每層薄膜的平均厚度，設(shè)有的計(jì)米器記錄在同一設(shè)定長(zhǎng)度反復(fù)進(jìn)行測(cè)量，使該裝置準(zhǔn)確性更高。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的高精確度的薄膜厚度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；