[實用新型]一種高精確度的薄膜厚度測量裝置

有效

• 申請號: 201821033373.9
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN208505182U
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 王平
• 申請（專利權）人: 長沙學院
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 泰州地益專利事務所 32108
• 代理人: 譚建成

1.一種高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，包括：

支撐件，包括架體，與所述架體轉動連接的通軸，以及套裝在所述通軸上并與所述通軸固定連接的圓形筒柱，其中，所述圓形筒柱用于纏繞薄膜；還包括用于驅動所述圓形筒柱轉動的第一驅動機構；

計量卷軸，所述薄膜的外露端平行收緊在所述計量卷軸上，所述計量卷軸的一端連接有驅動所述計量卷軸旋轉的第二驅動機構，所述計量卷軸遠離所述第二驅動機構的一端設有凸起；

記圈器，所述第二驅動機構驅動所述計量卷軸旋轉至設定位置時，所述凸起抵壓一次所述記圈器的開關；

計米器，用于測量所述薄膜收納在與所述計量卷軸上的米數；

直徑測量儀，用于測量所述測量所述計量卷軸上所收納薄膜的厚度；

計算模塊，在所述計米器檢測的所述薄膜纏繞到所述計量卷軸上設定長度時，根據所述直徑測量儀測量的纏繞到所述計量卷軸上的直徑以及所述記圈器測量的纏繞到所述計量卷軸上的薄膜的圈數計算所述設定長度的薄膜的平均厚度。

2.根據權利要求1所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述通軸沿周向設有多個支撐腿，所述多個支撐腿分別支撐所述圓形筒柱的內壁。

3.根據權利要求2所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述通軸延伸出所述圓形筒柱的兩端分別與所述架體轉動連接。

4.根據權利要求1所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述第一驅動機構為第一電機，所述第一驅動電機的輸出軸連接所述通軸的一端；所述第二驅動機構為第二驅動電機，所述第二驅動電機的輸出軸連接所述計量卷軸的一端；其中，所述第一驅動電機和所述第二驅動電機同向旋轉，并且轉速相同。

5.根據權利要求1所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，還包括安裝所述計量卷軸、所述計米器、所述記圈器、所述直徑測量儀以及所述第二驅動電機的安裝架。

6.根據權利要求5所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述計米器固定安裝在所述安裝架上，所述計米器的米輪與所述薄膜相抵壓，所述薄膜運動帶動所述米輪旋轉。

7.根據權利要求6所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述計米器為以毫米為單位的計米器。

8.根據權利要求1所述的高精確度的薄膜厚度測量裝置，其特征在于，所述計算模塊連接有顯示計算數據結果的顯示屏。