[實用新型]一種晶圓定位流道裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821022728.4
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208637399U
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱俊;周志豪
• 申請（專利權(quán)）人: 常州雷射激光設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/677
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 戴朝榮

1.一種晶圓定位流道裝置，包括機架（1），其特征在于：所述機架（1）的右側(cè)面設(shè)有第一電機（2），所述第一電機（2）和所述機架（1）焊接固定，Y方向拍板氣缸（3）位于所述機架（1）的上表面左端處，且與所述機架（1）固定連接，拍板（4）通過所述Y方向拍板氣缸（3）位于第一傳送帶（5）上方，所述拍板（4）與所述Y方向拍板氣缸（3）擠壓固定，所述第一電機（2）的第一轉(zhuǎn)軸貫穿豎板（15），所述豎板（15）與所述第一電機（2）固定連接，第一電機（2）的第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接第二滾筒（13），所述第二滾筒（13）位于所述豎板（15）前表面，皮帶（14）套設(shè)在所述第二滾筒（13）和第一滾筒（11）上，所述第二滾筒（13）與所述皮帶（14）轉(zhuǎn)動連接，所述第一滾筒（11）和所述皮帶（14）轉(zhuǎn)動連接，第一傳送帶（5）套設(shè)在所述第一滾筒（11）的外側(cè)面且在所述Y方向拍板氣缸（3）和X方向拍板氣缸（6）的上方所述拍板（4）的下方，所述第一傳送帶（5）和所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，所述豎板（15）遠離所述第一電機（2）的一端被第一滾筒（11）的前端所貫穿，所述第一傳送帶（5）的左側(cè)靠近所述機架（1）上表面設(shè)有X方向拍板氣缸（6），所述X方向拍板氣缸（6）與所述機架（1）轉(zhuǎn)動連接，電機固定座（16）位于所述機架（1）的上表面靠近所述X方向拍板氣缸（6）遠離所述Y方向拍板氣缸（3）的一側(cè)，所述電機固定座（16）與所述機架（1）焊接固定，所述電機固定座（16）的上表面設(shè)有電機殼（8），所述電機殼（8）與所述電機固定座（16）焊接固定，所述電機殼（8）內(nèi)部設(shè)有容腔,所述容腔內(nèi)設(shè)有第二電機，所述第二電機與所述電機殼（8）焊接固定，旋轉(zhuǎn)手臂（7）位于所述電機殼（8）的上方通過所述第二電機的第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接，所述旋轉(zhuǎn)手臂（7）的上表面轉(zhuǎn)動手柄處固定設(shè)有伯努利吸盤（17），所述機架（1）的后表面左端上方通過固定柱底端固定設(shè)有料盒（9），第三電機（12）位于所述機架（1）左側(cè)面且與所述機架（1）焊接固定，第二傳送帶（10）和所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，所述豎板（15）遠離所述第三電機（12）的一端被第一滾筒（11）的前端所貫穿，所述豎板（15）和所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，所述第一滾筒（11）遠離所述豎板（15）的一端與所述機架（1）的后端內(nèi)側(cè)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位流道裝置，其特征在于：所述Y方向拍板氣缸（3）與所述機架（1）固定連接，所述Y方向拍板氣缸（3）的左側(cè)夾板與所述Y方向拍板氣缸（3）的第一推桿連接，不與所述Y方向拍板氣缸（3）與機架（1）固定的底板相接處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位流道裝置，其特征在于：所述Y方向拍板氣缸（3）上有一個剛好與所述第一傳送帶（5）在豎直方向上擁有同一個高度的拍板撐柱，所述Y方向拍板氣缸（3）與所述拍板撐柱固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位流道裝置，其特征在于：所述伯努利吸盤（17）的數(shù)量為四個，四個所述伯努利吸盤（17）均固定連接在所述旋轉(zhuǎn)手臂（7）的上表面手柄處。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位流道裝置，其特征在于：所述第一滾筒（11）、所述第二滾筒（13）、所述皮帶（14）和所述豎板（15）的數(shù)量均為兩個，所述第二傳送帶（10）和一個所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，一個所述豎板（15）遠離所述第三電機（12）的一端被一個所述第一滾筒（11）的前端所貫穿，一個所述豎板（15）和一個所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，一個所述第一滾筒（11）遠離一個所述豎板（15）的一端與所述機架（1）的后端內(nèi)側(cè)固定連接，所述第一傳送帶（5）和另一個所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，另一個所述豎板（15）遠離所述第一電機（2）的一端被另一個所述第一滾筒（11）的前端所貫穿，另一個所述豎板（15）和另一個所述第一滾筒（11）轉(zhuǎn)動連接，另一個所述第一滾筒（11）遠離另一個所述豎板（15）的一端與所述機架（1）的后端內(nèi)側(cè)固定連接。