[實用新型]一種全自動晶圓保護膜撕膜機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821022470.8 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN208576269U | 公開（公告）日： | 2019-03-05 |
| 發(fā)明（設計）人： | 朱紅偉;袁泉;王麗;王倩 | 申請（專利權）人： | 江蘇納沛斯半導體有限公司 |
| 主分類號： | B32B38/10 | 分類號： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 223002 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保護布 撕膜機 遮蓋 晶圓 保護膜 收折桿 上表面 卡住 本實用新型 上表面邊緣 外殼上表面 防止異物 滑動連接 機器部件 撕膜機構 壓膜機構 正常運作 位置處 異物 開口 取出 阻礙 | ||
1.一種全自動晶圓保護膜撕膜機，包括撕膜機構、壓膜機構和保護布遮蓋基座（1），其特征在于：所述保護布遮蓋基座（1）固定連接在撕膜機外殼（8）的上表面邊緣位置處，所述保護布遮蓋基座（1）的內(nèi)側(cè)設置有撕膜機保護布（11），所述撕膜機保護布（11）的上表面固定連接有保護布收折桿（10），且保護布收折桿（10）與保護布遮蓋基座（1）滑動連接，所述撕膜機保護布（11）的一端與撕膜機構固定連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶圓保護膜撕膜機，其特征在于：所述撕膜機構包括撕膜滑桿（2）、保護膜固定輥（3）、調(diào)節(jié)手輪（6）、控制按鈕（7）和撕膜機外殼（8），且撕膜滑桿（2）與撕膜機外殼（8）通過凹槽卡合滑動連接，所述保護膜固定輥（3）與撕膜滑桿（2）通過螺栓固定連接，所述控制按鈕（7）與撕膜機外殼（8）通過凹槽卡合固定連接，所述調(diào)節(jié)手輪（6）與撕膜機外殼（8）通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶圓保護膜撕膜機，其特征在于：所述壓膜機構包括壓輥調(diào)節(jié)栓（4）、壓輥基座（5）和保護膜壓輥（9），且壓輥調(diào)節(jié)栓（4）與壓輥基座（5）通過螺紋凹槽卡合固定連接，所述壓輥調(diào)節(jié)栓（4）與保護膜壓輥（9）通過螺栓固定連接。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶圓保護膜撕膜機，其特征在于：所述保護布遮蓋基座（1）的剖面形狀為“U”字形，且保護布遮蓋基座（1）的外表面設置有矩形孔洞。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種全自動晶圓保護膜撕膜機，其特征在于：所述撕膜機保護布（11）的寬度等于撕膜滑桿（2）的寬度，撕膜機保護布（11）的長度等于撕膜機外殼（8）長度的五分之四。
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