[實(shí)用新型]一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821020749.2
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208377259U
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊雪松;陳業(yè);張慧;李鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B65B69/00
• 分類號: B65B69/00;B32B38/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)，包括撕膜機(jī)本體，所述撕膜機(jī)本體的上表面設(shè)置有晶圓固定盤，所述晶圓固定盤的上表面設(shè)置有晶圓本體，所述晶圓本體的兩側(cè)設(shè)置有滑軌，所述滑軌設(shè)置在撕膜機(jī)本體的上表面，所述滑軌的上表面設(shè)置有連接架，所述連接架的內(nèi)部設(shè)置有滾軸，所述滾軸的外側(cè)表面設(shè)置有齒輪，所述齒輪的外側(cè)表面設(shè)置有導(dǎo)向齒條，所述導(dǎo)向齒條的底面設(shè)置在撕膜機(jī)本體的上表面；設(shè)備的撕膜滾軸外側(cè)表面增設(shè)了齒輪，在撕膜的過程中能夠保持滾軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，能夠更好的對晶圓進(jìn)行撕膜，同時滾軸的兩端設(shè)置了限位用咬合金屬片，在需要去除滾軸側(cè)面粘接的膜時便于逆向旋轉(zhuǎn)滾軸并將膜移除，提升了工作人員的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于晶圓撕膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，目前的產(chǎn)品基本為8英寸晶圓和12英寸晶圓,目前的晶圓在生產(chǎn)過程中會進(jìn)行封裝，便于在不同的地點(diǎn)運(yùn)輸，出于對晶圓質(zhì)量安全的考慮，防止晶圓在運(yùn)輸時破碎，晶圓的表面會進(jìn)行貼膜，在后續(xù)工序加工之前需要先將薄膜撕除；目前的撕膜設(shè)備使用時極為不便，且貼膜粘在撕膜機(jī)構(gòu)滾軸的側(cè)表面不易取下，工作人員使用時效率低下，針對目前的撕膜機(jī)使用時所暴露的問題，有必要對塑膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)進(jìn)行結(jié)構(gòu)上的改進(jìn)，為此我們提出一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的目前的撕膜設(shè)備使用時極為不便，且貼膜粘在撕膜機(jī)構(gòu)的表面不易取下，工作人員使用時效率低下的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種晶圓撕膜機(jī)的撕膜機(jī)構(gòu)，包括撕膜機(jī)本體，所述撕膜機(jī)本體的上表面設(shè)置有晶圓固定盤，所述晶圓固定盤的上表面設(shè)置有晶圓本體，所述晶圓本體的兩側(cè)設(shè)置有滑軌，所述滑軌設(shè)置在撕膜機(jī)本體的上表面，所述滑軌的上表面設(shè)置有連接架，所述連接架的內(nèi)部設(shè)置有滾軸，所述滾軸的外側(cè)表面設(shè)置有齒輪，所述齒輪的外側(cè)表面設(shè)置有導(dǎo)向齒條，所述導(dǎo)向齒條的底面設(shè)置在撕膜機(jī)本體的上表面，所述滾軸的兩端貫穿連接架的側(cè)面到達(dá)連接架的外部，所述滾軸的外側(cè)表面設(shè)置有第二咬合用金屬片，所述滾軸的外部設(shè)置有旋鈕，所述旋鈕的內(nèi)側(cè)表面設(shè)置有第一咬合金屬片，所述滾軸的頂端與旋鈕的內(nèi)壁套接連接。

優(yōu)選的，所述晶圓固定盤的內(nèi)部均勻設(shè)置有導(dǎo)氣管，所述導(dǎo)氣管的頂端設(shè)置有吸盤，所述吸盤的側(cè)面設(shè)置有橡膠密封圈，所述橡膠密封圈設(shè)置在晶圓固定盤的上表面。

優(yōu)選的，所述滾軸的兩端外側(cè)表面對稱設(shè)置有齒輪，所述齒輪通過切割設(shè)置在滾軸的側(cè)面，所述齒輪與滾軸為一體結(jié)構(gòu)，所述齒輪的底面都設(shè)置有導(dǎo)向齒條，所述導(dǎo)向齒條通過晶圓固定盤對稱安裝。

優(yōu)選的，所述撕膜機(jī)本體的上表面開設(shè)有兩個滑軌，所述兩個滑軌以晶圓固定盤為對稱軸安裝。

優(yōu)選的，所述滾軸的側(cè)面均勻設(shè)置有一圈的第二咬合用金屬片，所述第二咬合用金屬片的一側(cè)設(shè)置有第一咬合金屬片，所述第二咬合用金屬片的頂端與第一咬合金屬片的頂端相接觸。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

（1）設(shè)備的內(nèi)部增設(shè)了晶圓固定設(shè)備，晶圓撕膜機(jī)在使用的過程中能夠更好的對晶圓進(jìn)行固定，同時對不同的尺寸的晶圓有更好的兼容性，便于工作人員的使用。

（2）設(shè)備的撕膜滾軸外側(cè)表面增設(shè)了齒輪，在撕膜的過程中能夠保持滾軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，能夠更好的對晶圓進(jìn)行撕膜，同時滾軸的兩端設(shè)置了限位用咬合金屬片，在需要去除滾軸側(cè)面粘接的膜時便于逆向旋轉(zhuǎn)滾軸并將膜移除，提升了工作人員的工作效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的外觀結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的晶圓固定吸盤截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的吸盤俯視結(jié)構(gòu)示意圖；