[實用新型]一種晶圓撕膜機的撕膜機構有效
| 申請號： | 201821020749.2 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN208377259U | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發明（設計）人： | 楊雪松;陳業;張慧;李鋒 | 申請（專利權）人： | 江蘇納沛斯半導體有限公司 |
| 主分類號： | B65B69/00 | 分類號： | B65B69/00;B32B38/10 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 223002 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 滾軸 撕膜機 上表面 外側表面 齒輪 滑軌 晶圓 撕膜 導向齒條 晶圓本體 撕膜機構 固定盤 連接架 種晶 本實用新型 咬合金屬片 工作效率 兩側設置 兩端設置 內部設置 逆向旋轉 底面 膜移 去除 限位 粘接 增設 側面 | ||
1.一種晶圓撕膜機的撕膜機構，包括撕膜機本體（1），其特征在于：所述撕膜機本體（1）的上表面設置有晶圓固定盤（2），所述晶圓固定盤（2）的上表面設置有晶圓本體（3），所述晶圓本體（3）的兩側設置有滑軌（12），所述滑軌（12）設置在撕膜機本體（1）的上表面，所述滑軌（12）的上表面設置有連接架（6），所述連接架（6）的內部設置有滾軸（4），所述滾軸（4）的外側表面設置有齒輪（5），所述齒輪（5）的外側表面設置有導向齒條（8），所述導向齒條（8）的底面設置在撕膜機本體（1）的上表面，所述滾軸（4）的兩端貫穿連接架（6）的側面到達連接架（6）的外部，所述滾軸（4）的外側表面設置有第二咬合用金屬片（14），所述滾軸（4）的外部設置有旋鈕（7），所述旋鈕（7）的內側表面設置有第一咬合金屬片（13），所述滾軸（4）的頂端與旋鈕（7）的內壁套接連接。
2.根據權利要求1所述的一種晶圓撕膜機的撕膜機構，其特征在于：所述晶圓固定盤（2）的內部均勻設置有導氣管（10），所述導氣管（10）的頂端設置有吸盤（11），所述吸盤（11）的側面設置有橡膠密封圈（9），所述橡膠密封圈（9）設置在晶圓固定盤（2）的上表面。
3.根據權利要求1所述的一種晶圓撕膜機的撕膜機構，其特征在于：所述滾軸（4）的兩端外側表面對稱設置有齒輪（5），所述齒輪（5）通過切割設置在滾軸（4）的側面，所述齒輪（5）與滾軸（4）為一體結構，所述齒輪（5）的底面都設置有導向齒條（8），所述導向齒條（8）通過晶圓固定盤（2）對稱安裝。
4.根據權利要求1所述的一種晶圓撕膜機的撕膜機構，其特征在于：所述撕膜機本體（1）的上表面開設有兩個滑軌（12），所述兩個滑軌（12）以晶圓固定盤（2）為對稱軸安裝。
5.根據權利要求1所述的一種晶圓撕膜機的撕膜機構，其特征在于：所述滾軸（4）的側面均勻設置有一圈的第二咬合用金屬片（14），所述第二咬合用金屬片（14）的一側設置有第一咬合金屬片（13），所述第二咬合用金屬片（14）的頂端與第一咬合金屬片（13）的頂端相接觸。
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