[實用新型]應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器

有效

• 申請號: 201821020685.6
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208424821U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 李忠;王志剛;吳小軍
• 申請（專利權）人: 太倉考斯茂石英有限公司
• 主分類號: H05B3/44
• 分類號: H05B3/44;H05B3/02;H05B3/04;H05B3/14
• 代理公司: 昆山中際國創知識產權代理有限公司 32311
• 代理人: 盛建德;張小培

本實用新型公開了一種應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，包括外殼、置于外殼中的加熱組件、以及兩條置于外殼外并還分別與加熱組件相連接的導線，外殼具有石英玻璃管和兩個分別密封安裝在石英玻璃管的兩端口上的密封件，兩個密封件和石英玻璃管一起合圍成一真空內腔，并在真空內腔中還充填有保護氣體；加熱組件具有一由經過燒氫處理后的碳纖維材料制成的加熱絲和兩個分別與加熱絲的兩端固定連接的鉬絲，加熱絲連同兩個鉬絲一起內置于真空內腔中，且兩個鉬絲遠離于加熱絲的一端還分別伸出兩個密封件外，并同時與兩條導線相對應連接；該碳纖維加熱器通過結構改進，具有升溫效果快、能耗低、可干燒、不易損壞、使用壽命長等優點。

技術領域

本實用新型涉及加熱器技術領域，具體提供一種應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器。

背景技術

在芯片濕法制造工藝中，對石英槽內的溶液進行加熱的方法主要有兩種，分別為：①在石英槽的外部貼敷一層加熱膜，加熱膜產生的熱能傳導至石英槽內，以對石英槽內的溶液進行加熱。②將鎳鉻加熱絲穿入石英管內，制成一加熱管，然后再將加熱管投入到石英槽內，以對石英槽內的溶液進行加熱。然而，對于上述第一種加熱方法，其熱傳導速度比較慢，而且加熱膜在貼覆時必須保證平整、無氣泡，否則就會造成空燒，影響到加熱膜的使用壽命。對于上述第二種加熱方法，其雖然升溫效果快，但加熱管在工作一定時間后，鎳鉻加熱絲容易氧化斷裂，這就需要更換新的加熱管，增加了生產成本，而且這種加熱管也不能干燒，否則也會影響到加熱管的使用壽命。因此，亟需提供一種能夠實現升溫效果快、使用壽命長、能耗低的加熱器。

有鑒于此，特提出本實用新型。

發明內容

為了克服上述缺陷，本實用新型提供了一種應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，其具有升溫效果快、能耗低、可干燒、不易損壞、使用壽命長等優點。

本實用新型為了解決其技術問題所采用的技術方案是：一種應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，包括外殼、置于所述外殼中的加熱組件、以及兩條置于所述外殼外并還分別與所述加熱組件相連接的導線，所述外殼具有石英玻璃管和兩個分別密封安裝在所述石英玻璃管的兩端口上的密封件，兩個所述密封件和所述石英玻璃管一起合圍成一真空內腔，并在所述真空內腔中還充填有保護氣體；所述加熱組件具有一由經過燒氫處理后的碳纖維材料制成的加熱絲和兩個分別與所述加熱絲的兩端固定連接的鉬絲，所述加熱絲連同兩個所述鉬絲一起內置于所述真空內腔中，且兩個所述鉬絲遠離于所述加熱絲的一端還分別伸出兩個所述密封件外，并同時與兩條所述導線相對應連接。

作為本實用新型的進一步改進，分別在所述加熱絲的兩端上各固定套接有一鉬套管，兩個所述鉬套管還分別與兩個所述鉬絲靠近于所述加熱絲的另一端相焊接。

作為本實用新型的進一步改進，還設有兩個保護套，兩個所述保護套分別固定套接于所述石英玻璃管的兩端口外，且同時兩個所述保護套還分別能夠遮蓋住兩個所述鉬絲與兩條所述導線間的連接部位。

本實用新型的有益效果是：本實用新型通過對碳纖維加熱器結構進行改進，表現在：采用由經過燒氫處理后的碳纖維材料來制作加熱絲；石英玻璃管內形成真空內腔、并充填有保護氣體；等；使制得碳纖維加熱器不僅升溫效果快、能耗低，且可干燒、不易損壞，很好的延長了使用壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型所述應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器的結構示意圖。

結合附圖，作以下說明：

1——導線2——石英玻璃管

3——加熱絲4——鉬絲

5——鉬套管6——保護套

具體實施方式

下面參照圖對本實用新型的優選實施例進行詳細說明。

實施例1：