[實用新型]應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器

有效

• 申請號: 201821020685.6
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208424821U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 李忠;王志剛;吳小軍
• 申請（專利權）人: 太倉考斯茂石英有限公司
• 主分類號: H05B3/44
• 分類號: H05B3/44;H05B3/02;H05B3/04;H05B3/14
• 代理公司: 昆山中際國創知識產權代理有限公司 32311
• 代理人: 盛建德;張小培

1.一種應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，包括外殼、置于所述外殼中的加熱組件、以及兩條置于所述外殼外并還分別與所述加熱組件相連接的導線(1)，其特征在于：所述外殼具有石英玻璃管(2)和兩個分別密封安裝在所述石英玻璃管(2)的兩端口上的密封件，兩個所述密封件和所述石英玻璃管(2)一起合圍成一真空內腔，并在所述真空內腔中還充填有保護氣體；所述加熱組件具有一由經過燒氫處理后的碳纖維材料制成的加熱絲(3)和兩個分別與所述加熱絲(3)的兩端固定連接的鉬絲(4)，所述加熱絲(3)連同兩個所述鉬絲(4)一起內置于所述真空內腔中，且兩個所述鉬絲(4)遠離于所述加熱絲(3)的一端還分別伸出兩個所述密封件外，并同時與兩條所述導線(1)相對應連接。

2.根據權利要求1所述的應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，其特征在于：分別在所述加熱絲(3)的兩端上各固定套接有一鉬套管(5)，兩個所述鉬套管(5)還分別與兩個所述鉬絲(4)靠近于所述加熱絲(3)的另一端相焊接。

3.根據權利要求1所述的應用于芯片濕法制造工藝中的碳纖維加熱器，其特征在于：還設有兩個保護套(6)，兩個所述保護套(6)分別固定套接于所述石英玻璃管(2)的兩端口外，且同時兩個所述保護套(6)還分別能夠遮蓋住兩個所述鉬絲(4)與兩條所述導線(1)間的連接部位。