[實用新型]一種耐高溫金屬對準標記有效
| 申請號： | 201821010640.0 | 申請日： | 2018-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN208400844U | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發明（設計）人： | 蔡文必;周澤陽;林光耀;劉勝厚;許若華;鄒冠;蔡仙清;林志東;王文平 | 申請（專利權）人： | 廈門市三安集成電路有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 361100 福建省廈門*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 粘附金屬層 本實用新型 耐高溫金屬 主體金屬層 標記金屬 對準標記 保護層 形貌 表面平整度 惰性金屬 高溫工藝 提升器件 主體金屬 成品率 光刻 晶圓 粘附 對準 | ||
1.一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：包括粘附金屬層和主體金屬層，粘附金屬層粘附在晶圓上，主體金屬層疊加在粘附金屬層上；還包括保護層，保護層疊加在主體金屬層上，保護層為惰性金屬。
2.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：保護層為Ti、WTi、W、TiN、AlN、TaN、WN、WTiN、Mo中的一種。
3.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：保護層的厚度為2~20nm。
4.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：粘附金屬層為Ti、WTi、W、TiN、AlN中的一種。
5.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：主體金屬層為Pt、Pd、Mo、W、WN、AlN、WTi中的一種。
6.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：保護層為多層金屬堆積而成。
7.根據權利要求6所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：保護層為Ti/Pt/Ti、Mo/Ti、WTi/Mo。
8.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：粘附金屬層為Ti，厚度為5～20nm；主體金屬層為Pt，厚度為20～100nm；保護層為Ti，厚度為2～20nm。
9.根據權利要求1所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：粘附金屬層，主體金屬層和保護層采用相同的金屬材料。
10.根據權利要求9所述的一種耐高溫金屬對準標記，其特征在于：粘附金屬層為W，厚度為5～20nm；主體金屬層為W，厚度為20～100nm；保護層為W，厚度為2～20nm。
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