[實用新型]光學式瑕疵檢測系統

有效

• 申請號: 201821008354.0
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208547582U
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 陳文生;李彥志
• 申請（專利權）人: 聯策科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 翟國明

1.一種光學式瑕疵檢測系統，包括：

多個臺面，每一臺面被驅動在一往復方向上移動；

一影像拍攝系統，包括一相機，該相機用以從一待檢測物的一檢測面上拍攝影像；以及

一移動控制裝置，控制該臺面在該往復方向上移動；

其特征在于：

該光學式瑕疵檢測系統包括：多個光源裝置，分別配置以照明被每一臺面所承載的該待檢測物的該檢測面，該移動控制裝置控制該相機在垂直于該往復方向上移動，使該影像拍攝系統分別從各臺面所承載的該待檢測物且從各光源裝置所照明的該檢測面上拍攝影像，以檢測該檢測面的瑕疵。

2.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，其中該影像拍攝系統進一步包括：一相機移動軸，該相機安裝于該相機移動軸而在垂直于該往復方向上移動。

3.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，進一步包括：多個平臺驅動機構，每一平臺驅動機構受該移動控制裝置所控制，以驅動一臺面在該往復方向上移動。

4.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，進一步包括：一臺面入料手臂裝置，受該移動控制裝置所控制，將該待檢測物放置在該些臺面之一；以及一臺面出料手臂裝置，受該移動控制裝置所控制，將該待檢測物從該些臺面之一移出。

5.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，進一步包括：一臺面轉運手臂裝置，受該移動控制裝置所控制，將該待檢測物在各臺面之間搬移。

6.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，其中該移動控制裝置包括：一多埠的控制軸卡，該控制軸卡的多埠分別用以控制多個平臺驅動機構，以及該影像拍攝系統的一相機移動軸，該相機安裝于該相機移動軸而在垂直于該往復方向上移動。

7.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，其中該移動控制裝置控制該些臺面在該往復方向上不同步移動。

8.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，其中該移動控制裝置控制該些臺面在該往復方向上同步移動。

9.根據權利要求8所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，其中該些臺面用以共同承載該待檢測物且共同在該往復方向上移動，并在垂直于該往復方向上，該待檢測物的檢測面的寬度大于該相機在該檢測面的取像寬度。

10.根據權利要求1所述的光學式瑕疵檢測系統，其特征在于，進一步包括：一臺面轉運手臂裝置，受該移動控制裝置所控制，以調整該檢測面的相同區域能夠被多個光源裝置分別照明，以檢測該相同區域的瑕疵。