[實(shí)用新型]鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821007371.2
• 申請(qǐng)日: 2018-06-27
• 公開（公告）號(hào): CN208617974U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚立柱;張津巖;楊曦曦;袁世成;張文
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新(北京)科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C16/52;H01L31/18
• 代理公司: 北京三高永信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11138
• 代理人: 邢惠童

1.一種鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述鍍膜系統(tǒng)包括鍍膜腔室、控制設(shè)備、傳輸設(shè)備、第一基板檢測(cè)設(shè)備和第二基板檢測(cè)設(shè)備，其中：

所述控制設(shè)備分別與所述傳輸設(shè)備、所述第一基板檢測(cè)設(shè)備、所述第二基板檢測(cè)設(shè)備電性連接；

所述第一基板檢測(cè)設(shè)備安裝在所述鍍膜腔室的入口位置，所述第二基板檢測(cè)設(shè)備安裝在所述鍍膜腔室的出口位置；

所述第一基板檢測(cè)設(shè)備和所述第二基板檢測(cè)設(shè)備的信號(hào)傳輸線路均垂直于所述傳輸設(shè)備的載板所在的平面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一基板檢測(cè)設(shè)備包括第一信號(hào)收發(fā)器和第一信號(hào)反射板，所述第二基板檢測(cè)設(shè)備包括第二信號(hào)收發(fā)器和第二信號(hào)反射板；

所述第一信號(hào)收發(fā)器、所述第二信號(hào)收發(fā)器均與所述控制設(shè)備電性連接；

所述第一信號(hào)收發(fā)器安裝在所述鍍膜腔室的入口位置處的第一側(cè)壁上，所述第一信號(hào)反射板安裝在所述鍍膜腔室的入口位置處的第二側(cè)壁上，且所述第一信號(hào)收發(fā)器的位置與所述第一信號(hào)反射板的位置相對(duì)應(yīng)，所述第一信號(hào)收發(fā)器的信號(hào)發(fā)射方向與所述第一信號(hào)反射板相垂直；

所述第二信號(hào)收發(fā)器安裝在所述鍍膜腔室的出口位置處的第一側(cè)壁上，所述第二信號(hào)反射板安裝在所述鍍膜腔室的出口位置處的第二側(cè)壁上，且所述第二信號(hào)收發(fā)器的位置與所述第二信號(hào)反射板的位置相對(duì)應(yīng)，所述第二信號(hào)收發(fā)器的信號(hào)發(fā)射方向與所述第二信號(hào)反射板相垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一側(cè)壁上設(shè)置有與所述第一信號(hào)收發(fā)器相配合的第一通孔、與所述第二信號(hào)收發(fā)器相配合的第二通孔，所述第一信號(hào)收發(fā)器安裝在所述第一通孔中，所述第二信號(hào)收發(fā)器安裝在所述第二通孔中；

所述第二側(cè)壁上設(shè)置有與所述第一信號(hào)反射板相配合的第三通孔、與所述第二信號(hào)反射板相配合的第四通孔，所述第一信號(hào)反射板安裝在所述第三通孔中，所述第二信號(hào)反射板安裝在所述第四通孔中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔、所述第四通孔中均安裝有可被檢測(cè)信號(hào)穿透的隔離層；

所述第一信號(hào)收發(fā)器位于所述第一通孔中的隔離層遠(yuǎn)離所述載板的一面，所述第二信號(hào)收發(fā)器位于所述第二通孔中的隔離層遠(yuǎn)離所述載板的一面，所述第一信號(hào)反射板位于所述第三通孔中的隔離層遠(yuǎn)離所述載板的一面，所述第二信號(hào)反射板位于所述第四通孔中的隔離層遠(yuǎn)離所述載板的一面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一通孔的隔離層上與所述第一信號(hào)收發(fā)器相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有沿著信號(hào)發(fā)射方向的保護(hù)筒，所述第二通孔的隔離層上與所述第二信號(hào)收發(fā)器相對(duì)應(yīng)的位置處設(shè)置有沿著信號(hào)發(fā)射方向的保護(hù)筒。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一基板檢測(cè)設(shè)備包括第一信號(hào)發(fā)射器和第一信號(hào)接收器，所述第二基板檢測(cè)設(shè)備包括第二信號(hào)發(fā)射器和第二信號(hào)接收器；

所述第一信號(hào)發(fā)射器、所述第一信號(hào)接收器、所述第二信號(hào)發(fā)射器、所述第二信號(hào)接收器均為所述控制設(shè)備電性連接；

所述第一信號(hào)發(fā)射器安裝在所述鍍膜腔室的入口位置處的第一側(cè)壁上，所述第一信號(hào)接收器安裝在所述鍍膜腔室的入口位置處的第二側(cè)壁上，且所述第一信號(hào)發(fā)射器的位置與所述第一信號(hào)接收器的位置相對(duì)應(yīng)；

所述第二信號(hào)發(fā)射器安裝在所述鍍膜腔室的出口位置處的第一側(cè)壁上，所述第二信號(hào)接收器安裝在所述鍍膜腔室的出口位置處的第二側(cè)壁上，且所述第二信號(hào)發(fā)射器的位置與所述第二信號(hào)接收器的位置相對(duì)應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述第一基板檢測(cè)設(shè)備和所述第二基板檢測(cè)設(shè)備的檢測(cè)信號(hào)所在的直線與所述載板沿著傳輸方向的中軸線垂直相交。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述鍍膜腔室為真空鍍膜腔室。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，所述鍍膜系統(tǒng)還包括第一信號(hào)放大器和第二信號(hào)放大器；

所述第一基板檢測(cè)設(shè)備通過所述第一信號(hào)放大器與所述控制設(shè)備電性連接，所述第二基板檢測(cè)設(shè)備通過所述第二信號(hào)放大器與所述控制設(shè)備電性連接。