[實用新型]一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器

有效

• 申請號: 201820997420.5
• 申請日: 2018-06-27
• 公開（公告）號: CN208660652U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 關剛剛;李少華;趙亞國
• 申請（專利權）人: 西安西爐特種電爐有限公司
• 主分類號: B01D46/12
• 分類號: B01D46/12;B01D5/00;B01D49/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 王蕊轉

1.一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，其特征在于：包括過濾器本體(1)，過濾器本體(1)的上端從上往下依次設有蓋板(2)及掛板(3)，掛板(3)的下方連接有過濾體(4)，過濾體(4)內從上至下設有若干過濾單元，過濾器本體(1)的底部設有排污口(5)，過濾器本體(1)一側的上端設有排氣口(6)，排氣口(6)處設有壓力傳感器A(7)，過濾器本體(1)另一側的下端設有進氣口(8)，進氣口(8)處設有壓力傳感器B(9)，掛板(3)上均勻分布有透氣孔。

2.根據權利要求1所述的一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，其特征在于：所述排氣口(6)位于蓋板(2)與掛板(3)之間。

3.根據權利要求1所述的一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，其特征在于：所述過濾單元中包括圓筒狀的金屬網架，金屬網架的外壁上貼合有一圈焦油、炭墨吸附層。

4.根據權利要求3所述的一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，其特征在于：所述焦油、炭墨吸附層為炭氈或炭布吸附層。