[實用新型]一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器

有效

• 申請號: 201820997420.5
• 申請日: 2018-06-27
• 公開（公告）號: CN208660652U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 關剛剛;李少華;趙亞國
• 申請（專利權）人: 西安西爐特種電爐有限公司
• 主分類號: B01D46/12
• 分類號: B01D46/12;B01D5/00;B01D49/00
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 王蕊轉

本實用新型公開了一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，包括過濾器本體，過濾器本體的上端從上往下依次設有蓋板及掛板，掛板的下方連接有過濾體，過濾體內從上至下設有若干過濾單元，過濾器本體的底部設有排污口，過濾器本體一側的上端設有排氣口，排氣口處設有壓力傳感器A，過濾器本體另一側的下端設有進氣口，進氣口處設有壓力傳感器B，掛板上均勻分布有透氣孔。該過濾器能夠將氣相沉積爐內的焦油、炭墨過濾掉，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。

技術領域

本實用新型屬于真空熱處理技術領域，涉及一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器。

背景技術

真空化學氣相沉積工藝過程中，從爐內排出的氣體中含有大量的焦油和炭墨雜質，有時還會有炭墨隨氣體排出，必須采用一定的方法, 將雜質中主要的焦油除去，否則這些粘度很大的焦油或炭墨會吸附在管道、閥門、真空泵等內壁上，若不及時處理會堵塞管道、影響閥門的密封與調節功能，進入真空泵的焦油會影響真空油的粘度和轉子的運動，嚴重時會造成真空泵能力下降，抽力不足、啟動困難、磨損加劇的現象，影響工藝的正常進行，真空泵的維護工作量也特別大，甚至報廢。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，該過濾器能夠將氣相沉積爐內的焦油、炭墨過濾掉，防止焦油或炭墨堵塞真空泵管道。

本實用新型所采用的技術方案是，一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，包括過濾器本體，過濾器本體的上端從上往下依次設有蓋板及掛板，掛板的下方連接有過濾體，過濾體內從上至下設有若干過濾單元，過濾器本體的底部設有排污口，過濾器本體一側的上端設有排氣口，排氣口處設有壓力傳感器A，過濾器本體另一側的下端設有進氣口，進氣口處設有壓力傳感器B，掛板上均勻分布有透氣孔。

本實用新型的特點還在于，

排氣口位于蓋板與掛板之間。

過濾單元中包括圓筒狀的金屬網架，金屬網架的外壁上貼合有一圈焦油、炭墨吸附層。

焦油、炭墨吸附層為炭氈或炭布吸附層。

本實用新型的有益效果是，本發明中在過濾體的內壁上通過金屬網貼合一層焦油吸附層，焦油吸附層將焦油吸附后，再經過過濾體內部的過濾單元進行過濾，尾氣中焦油約90％已被過濾，達到非常好的過濾效果，本裝置體積小、不易堵塞、更換維護簡單、成本低。與目前傳統使用的焦油過濾罐比較，可使管道、閥門、真空泵檢修周期延長3-5倍，大大降低了工人的勞動強度，延長了閥門與真空泵的使用壽命，提高了工藝參數的控制精度。

附圖說明

圖1是本實用新型一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器的結構示意圖；

圖2是本實用新型一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器中過濾器本體與真空泵的連接結構示意圖。

圖中，1.過濾器本體，2.蓋板，3.掛板，4.過濾體，5.排污口， 6.排氣口，7.壓力傳感器A，8.進氣口，9.壓力傳感器B，10.真空泵，11.角閥，12.橫管，13.調壓閥。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

本實用新型一種真空化學氣相沉積爐焦油、炭墨過濾器，如圖1 所示，包括過濾器本體1，過濾器本體1的上端從上往下依次設有蓋板2及掛板3，掛板3的下方連接有過濾體4，過濾體4內從上至下設有若干過濾單元，過濾器本體1的底部設有排污口5，過濾器本體 1一側的上端設有排氣口6，排氣口6處設有壓力傳感器A7，過濾器本體1另一側的下端設有進氣口8，進氣口8處設有壓力傳感器B9。

排氣口6位于蓋板2與掛板3之間，掛板3上均勻分布有透氣孔。