[實(shí)用新型]一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820995769.5
• 申請(qǐng)日: 2018-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN208256617U
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳典玠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 世巨科技（合肥）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備，本實(shí)用新型包括外殼、集液槽、儲(chǔ)液箱、第一輸送泵、加熱器、流量控制閥和控制器，外殼的內(nèi)部安裝有分隔板，分隔板的左側(cè)安裝有導(dǎo)流板，導(dǎo)流板上安裝有放置板，導(dǎo)流板的下部安裝有集液槽，集液槽的下部安裝有進(jìn)液管，進(jìn)液管的下端安裝在儲(chǔ)液箱的上部，儲(chǔ)液箱的右側(cè)安裝有輸液管，輸液管上安裝有第一輸送泵。本實(shí)用新型提供了一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備，通過設(shè)置的外殼、集液槽、儲(chǔ)液箱、第一輸送泵、加熱器、流量控制閥和控制器，解決了清洗液容易冷卻，不便于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗，且不便于控制清洗液的出液量的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體洗凈技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體再加工過程中，通常使用為雙氧水來作為洗凈液。在此洗凈方法中，利用最初的雙氧水洗凈液(包含氨和雙氧水的混合液)來移除表面附著有機(jī)物與粒子，然后利用接下來的鹽酸/雙氧水洗凈液(包含鹽酸和雙氧水的混合液)來移除金屬雜質(zhì)，再次利用純水沖洗沖掉化學(xué)藥品，然后進(jìn)行干燥。

但是，現(xiàn)有的半導(dǎo)體的洗凈處理設(shè)備具有以下不足：

1.在使用過程中，清洗液容易冷卻，不便于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗；

2.在清洗過程中，不便于控制清洗液的出液量。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備，解決了清洗液容易冷卻，不便于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗，且不便于控制清洗液的出液量的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備，包括外殼、集液槽、儲(chǔ)液箱、第一輸送泵、加熱器、流量控制閥和控制器，所述外殼的內(nèi)部安裝有分隔板，所述分隔板的左側(cè)安裝有導(dǎo)流板，所述導(dǎo)流板上安裝有放置板，所述導(dǎo)流板的下部安裝有集液槽，所述集液槽的下部安裝有進(jìn)液管，所述進(jìn)液管的下端安裝在儲(chǔ)液箱的上部，所述儲(chǔ)液箱的右側(cè)安裝有輸液管，所述輸液管上安裝有第一輸送泵，所述第一輸送泵通過固定座固定在外殼上，所述輸液管上安裝有檢測(cè)管，所述輸液管通過管道固定座固定在分隔板上，所述輸液管的上端安裝在加熱器上，所述加熱器的左側(cè)安裝有出液管，所述出液管上安裝有第二輸送泵，所述出液管的下端安裝有噴頭，所述出液管上安裝有流量控制閥，所述外殼的右側(cè)內(nèi)壁上安裝有控制器。

優(yōu)選的，所述放置板通過支撐桿固定在導(dǎo)流板的上表面，所述放置板上設(shè)置有分布均勻的漏液孔，所述導(dǎo)流板向右下側(cè)傾斜安裝。

優(yōu)選的，所述檢測(cè)管通過連接座與輸液管固定連接，所述檢測(cè)管上設(shè)置有安置腔，所述安置腔內(nèi)安裝有溫度傳感器。

優(yōu)選的，所述出液管上的第二輸送泵安置在分隔板的左側(cè)，所述出液管通過支架固定在外殼上部的內(nèi)壁上，所述出液管上的噴頭正對(duì)放置板的中間位置處。

優(yōu)選的，所述集液槽安裝在導(dǎo)流板的右下側(cè)，所述集液槽的內(nèi)部安裝有過濾網(wǎng)，所述集液槽與儲(chǔ)液箱通過進(jìn)液管相互連通。

優(yōu)選的，所述控制器通過傳導(dǎo)線分別與第一輸送泵、加熱器、第二輸送泵、流量控制閥和溫度傳感器電性連接。

本實(shí)用新型提供了一種用于高階半導(dǎo)體的精密洗凈處理設(shè)備，具備以下有益效果：

(1)本實(shí)用新型，通過設(shè)置的加熱器、控制器和溫度傳感器，運(yùn)行時(shí)，控制器控制第一輸送泵運(yùn)行通過輸液管將儲(chǔ)液箱中的清洗液輸送到加熱器中，此時(shí)檢測(cè)管中的溫度傳感器運(yùn)行感知清洗液的溫度，并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂破髦校诙斔捅眠\(yùn)行將加熱器中加熱的清洗液抽取到出液管中，出液管中的清洗液從噴頭噴出清洗放置板上的半導(dǎo)體制品，當(dāng)控制器接收的溫度數(shù)據(jù)小于設(shè)定值時(shí)，控制器控制加熱器運(yùn)行將清洗液加熱到設(shè)定的溫度，解決了在使用過程中，清洗液容易冷卻，不便于對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗的問題；