[實用新型]一種固晶工藝結構及固晶機有效
| 申請號: | 201820995301.6 | 申請日: | 2018-06-27 |
| 公開(公告)號: | CN208385363U | 公開(公告)日: | 2019-01-15 |
| 發明(設計)人: | 鐘浩;陳勇伶 | 申請(專利權)人: | 深圳市矽谷科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268 | 代理人: | 王永文;劉文求 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶元 頂針裝置 引線框架 工藝結構 固晶 夾具 本實用新型 自動旋轉 分區 固晶臂 固晶機 晶片 抓取 方向一致性 同一水平面 晶片拾取 快速穩定 生產效率 拾取 保證 | ||
1.一種固晶工藝結構,其特征在于,包括:固晶臂控制機構、引線框架夾具、晶元及頂針裝置,所述引線框架與晶元位于同一水平面;所述固晶臂控制機構位于晶元水平面上方;所述頂針裝置位于晶元下方;所述晶元分為兩個相等或者不相等的兩個區域;所述固晶臂控制機構包括依次連接的轉動組件、固晶臂及吸盤;所述頂針裝置設置在其中一個晶元分區范圍的中心位置,所述頂針裝置與引線框架夾具之間的間距小于晶元中心點與引線框架夾具之間的間距。
2.根據權利要求1所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述頂針裝置在晶元上的垂直投影點與晶元分區區域中心點之間的間距為晶元半徑的0至50%。
3.根據權利要求2所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述頂針裝置在整個晶元上的垂直投影點與晶元中心點之間的間距小于晶元半徑。
4.根據權利要求1所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述轉動組件包括:旋轉驅動源、旋轉軸、夾緊軸及晶臂座,所述夾緊軸與旋轉軸上端螺紋連接后固定在旋轉驅動源中輸出軸的外緣,所述旋轉軸下端與晶臂座可移動連接,所述晶臂座下端與固晶臂相連接。
5.根據權利要求4所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述旋轉軸外緣固定連接有旋轉感應器片,所述轉動組件一側設置有R軸光電感應器,所述旋轉感應器片的高度與所述R軸光電感應器的高度相適配。
6.根據權利要求4所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述晶臂座與固晶臂之間設置有轉接塊,所述轉接塊中部開設有一晶臂收容槽,所述晶臂收容槽內設置有臂力調節螺栓,所述臂力調節螺栓在固晶臂一端插入晶臂收容槽后穿過轉接塊及固晶臂設置,且臂力調節螺栓外緣套設有一臂力調節彈簧,所述臂力調節彈簧位于固晶臂與轉接塊之間。
7.根據權利要求6所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述固晶工藝結構還包括:彈片,所述彈片一端與轉接塊螺紋連接,另一端與固晶臂轉動連接。
8.根據權利要求5所述的固晶工藝結構,其特征在于,所述固晶工藝結構還包括:驅動源固定座,所述旋轉驅動源固定在驅動源固定座上端面,所述R軸光電感應器固定在驅動源固定座下端面;所述晶臂座面向旋轉軸一面固定連接有第一交叉導軌,所述旋轉軸面向固晶臂一面固定連接有第二交叉導軌,所述第一交叉導軌可沿第二交叉導軌縱向移動。
9.一種固晶機,其特征在于,所述固晶機包括如權利要求1至8中任意一項所述的固晶工藝結構。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





