[實用新型]一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置

有效

• 申請號: 201820991593.6
• 申請日: 2018-06-26
• 公開（公告）號: CN208622692U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 余肇勇
• 申請（專利權）人: 肇慶市利拓邦電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 劉曉暉

本實用新型提供了一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置，包括：晶圓盤膠膜漲緊臺、晶圓頂出機構、晶圓翻轉吸取機構及相機調位座，所述晶圓翻轉吸取機構安裝在晶圓盤膠膜漲緊臺的上部，所述相機調位座安裝在晶圓翻轉吸取機構的上部且相機調位座上安裝有相機，所述晶圓頂出機構位置設置在相機的下方。本實用新型提供的一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置，結構緊湊，調整簡易，精準可靠。

技術領域

本實用新型涉及RFID晶圓倒封裝技術領域，特別涉及一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置。

背景技術

RFID技術，又稱無線射頻識別，是一種通信技術，可通過無線電訊號識別特定目標并讀寫相關數據，而無需識別系統與特定目標之間建立機械或光學接觸。RFID晶圓是作為載體，被廣泛使用與生產，國內現有設備的晶圓拾取裝置普遍存在取晶對位校準難，調整時間長，導致取晶及貼晶不穩定等問題。

實用新型內容

針對現有技術中的上述不足，本實用新型提供了一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置，其調整簡易，精準可靠，使用方便。

為了達到上述實用新型目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種RFID倒封裝晶圓拾取裝置，包括：晶圓盤膠膜漲緊臺、晶圓頂出機構、晶圓翻轉吸取機構及相機調位座，所述晶圓翻轉吸取機構安裝在晶圓盤膠膜漲緊臺的上部，所述相機調位座安裝在晶圓翻轉吸取機構的上部且相機調位座上安裝有相機，所述晶圓頂出機構位置設置在相機的下方。

優選的，所述晶圓盤膠膜漲緊臺包括橫向導向板、縱向導向板及固定架，所述橫向導向板與縱向導向板上均設有一端與電機連接的螺旋絲桿及導軌，所述縱向導向板安裝在橫向導向板的上方，且能夠跟螺旋絲桿運動橫向運動，所述固定架安裝在縱向導向板上，且下部安裝有垂直氣缸。

優選的，所述晶圓頂出機構包括水平XY向微調座、垂直升降機構、晶圓頂升機構及安裝在晶圓頂升機構上的頂針帽與膠膜吸附筒，所述垂直升降機構安裝在XY向微調座上，所述晶圓頂升機構安裝在XY向微調座的上端一側。

優選的，所述晶圓翻轉吸取機構包括晶圓吸嘴、翻轉擺臂、轉動連接組件及伺服翻轉電機，所述伺服翻轉電機安裝在轉動連接組件上，所述伺服翻轉電機的輸出軸貫穿轉動連接組件，所述翻轉擺臂固定在伺服翻轉電機的輸出軸軸端，所述晶圓吸嘴固定在翻轉擺臂的前端，所述相機、晶圓吸嘴與頂針帽由上到下依次設置。

優選的，所述晶圓吸嘴上設有閉氣螺絲，所述頂針帽的內部設有晶圓頂針。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型結構緊湊，三點一線式的晶圓吸附定位校準，調整簡易快捷，使RFID倒封裝取晶工藝更精準、穩定，大大提升了產品的良品率，從而提高設備產能，橫向導向板與縱向導向板能夠任意調整裝置水平位置，調節方便。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的晶圓盤膠膜漲緊臺結構示意圖；

圖3為本實用新型的晶圓頂出機構結構示意圖；

圖4為本實用新型的晶圓翻轉吸取機構結構示意圖；

圖5為本實用新型的相機調位座結構示意圖；

圖6為本實用新型的晶圓吸頭與相機中心的校準放大示意圖；

附圖標記對照表：