[實用新型]橢圓可活動頂針結構有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820977682.5 | 申請日: | 2018-06-22 |
| 公開(公告)號: | CN208889635U | 公開(公告)日: | 2019-05-21 |
| 發(fā)明(設計)人: | 黃湞;柳燕華 | 申請(專利權)人: | 江蘇長電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人: | 趙海波;孫燕波 |
| 地址: | 214400 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 橢圓 可活動頂針 轉軸 本實用新型 芯片 左右對稱布置 橢圓圓環(huán) 良率 豎直 脫膜 治具 升降 破裂 局限 生產(chǎn) | ||
本實用新型涉及一種橢圓可活動頂針結構,它包括基座(1),所述基座(1)上設置有可沿豎直方向升降的轉軸,所述轉軸上設置有多組橢圓平臺(2),每組橢圓平臺(2)有兩個,兩個橢圓平臺(2)左右對稱布置,所述轉軸位于橢圓平臺(2)的中心。本實用新型一種橢圓可活動頂針結構,它可以解決多步頂多圈治具設計帶來的脫膜局限,適于多種尺寸的芯片,橢圓圓環(huán)可以降低芯片破裂的風險,提高生產(chǎn)良率。
技術領域
本實用新型涉及一種橢圓可活動頂針結構,屬于半導體封裝技術領域。
背景技術
目前針對超薄芯片(<100um),為了防止芯片破裂,裝片多使用多步頂?shù)闹尉哌M行芯片脫膜動作,但由于多步頂?shù)捻斸樦尉邽槎嗳χ尉?如圖1所示),其中圖1(a)為整體頂起的示意圖,初始狀態(tài),圖1(b)為二部頂起示意圖,圖1(c)為中間頂起示意圖,因此在不同芯片尺寸上需要使用不同的模塊設計,通用性不佳。
實用新型內(nèi)容
本實用新型所要解決的技術問題是針對上述現(xiàn)有技術提供一種橢圓可活動頂針結構,它可以解決多步頂多圈治具設計帶來的脫膜局限,適于多種尺寸的芯片,橢圓圓環(huán)可以降低芯片破裂的風險,提高生產(chǎn)良率。
本實用新型解決上述問題所采用的技術方案為:一種橢圓可活動頂針結構,它包括基座,所述基座上設置有可沿豎直方向升降的轉軸,所述轉軸上設置有多組橢圓平臺,每組橢圓平臺有兩個,兩個橢圓平臺左右對稱布置,所述轉軸位于橢圓平臺的中心。
所述橢圓平臺采用橢圓環(huán)的形式。
所述橢圓平臺的材質(zhì)采用不銹鋼或鎢鋼。
與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的優(yōu)點在于:
1、本實用新型通用性強,通過旋轉角度改變頂針接觸面積,一個治具可適用于大部分芯片尺寸;
2、本實用新型通過旋轉角度調(diào)控頂針與芯片的接觸面積,與芯片接觸面積由大逐步減小,并可通過編程調(diào)控進行上下升降,能有效增強多步頂脫膜效果。
附圖說明
圖1為現(xiàn)有多步頂多圈治具各狀態(tài)的示意圖。
圖2為本實用新型一種橢圓可活動頂針結構各狀態(tài)的示意圖。
圖3為本實用新型一種橢圓可活動頂針結構的工作過程示意圖。
其中:
基座 1
橢圓平臺 2
芯片 3。
具體實施方式
以下結合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。
如圖2、圖3所示,本實施例中的一種橢圓可活動頂針結構,它包括基座1,所述基座1上設置有可沿豎直方向升降的轉軸,所述轉軸上設置有多組橢圓平臺2,每組橢圓平臺2有兩個,兩個橢圓平臺2左右對稱布置,所述轉軸位于橢圓平臺2的中心,多組橢圓平臺隨芯片尺寸旋轉到適當夾角,利用多組橢圓平臺展開的夾角頂取不同尺寸的芯片,轉軸向上升起帶動多組橢圓平臺頂起芯片;
所述橢圓平臺2采用橢圓環(huán)的形式;
所述橢圓平臺2的材質(zhì)采用不銹鋼或鎢鋼。
除上述實施例外,本實用新型還包括有其他實施方式,凡采用等同變換或者等效替換方式形成的技術方案,均應落入本實用新型權利要求的保護范圍之內(nèi)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





