[實用新型]一種制備珠寶首飾用人造CVD金剛石的設備

有效

• 申請號: 201820977347.5
• 申請日: 2018-06-25
• 公開（公告）號: CN208472187U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 趙志巖
• 申請（專利權）人: 廊坊西波爾鉆石技術有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/44;C23C16/52
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

1.一種制備首飾用人造金剛石的設備，其特征在于，所述設備包括：密閉的沉積室(1)，在所述沉積室(1)中豎直設置有熱絲組件(2)，在熱絲組件(2)兩側分別設置有基體組件(3)，

所述熱絲組件(2)包括固定電極板(21)、滑動電極板(22)、盤繞于固定電極板(21)與滑動電極板(22)之間的熱絲(23)以及兩個電極組，所述電極組包括正電極組和負電極組，正電極組與固定電極板(21)/滑動電極板(22)連通，負電極組與滑動電極板(22)/固定電極板(21)連通，所述熱絲(23)盤繞成熱絲網面，所述熱絲網面可沿熱絲拉伸方向做微小往復運動；

所述基體組件(3)包括傳動桿(31)，所述傳動桿(31)的一端設置有基片臺(32)，在另一端設置有連接臺(33)，所述基片臺(32)設置于所述沉積室(1)內部，所述連接臺設置于所述沉積室(1)外部，在所述基片臺(32)前端面上設置有沉積基體(34)；

所述沉積基體(34)與所述熱絲網面相對設置；

所述基體組件(3)可沿垂直于所述熱絲網面的方向往復運動。

2.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述滑動電極板(22)包括第一橫桿(221)，在所述第一橫桿(221)上安裝有滑動鉤板(222)和彈性支撐板(223)，所述滑動鉤板(222)為直線型板，所述彈性支撐板(223)為向遠離熱絲一側凸出的折線型板；

在所述滑動鉤板(222)靠近固定電極板(21)的一側設置有滑動電極鉤(224)，在所述滑動鉤板(222)與所述彈性支撐板(223)之間設置有多個彈性件(24)，所述滑動鉤板(222)可沿熱絲的拉伸方向往復運動。

3.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述固定電極板(21)包括第二橫桿(211)，在所述第二橫桿(211)上固定安裝有固定鉤板(212)，所述固定鉤板(212)為直線型板，在所述固定鉤板(212)的一側設置有多個固定電極鉤(213)，所述熱絲(23)盤繞于所述固定電極鉤(213)與滑動電極鉤(224)之間。

4.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，在所述沉積室(1)的頂壁設置有進氣管(4)，在沉積室(1)的底壁設置有出氣管(5)，所述進氣管(4)的管口設置于上電極板的上端與沉積室之間，所述出氣管(5)的管口設置于下電極板的下端與沉積室底板之間，所述上電極板為靠近沉積室頂壁的電極板，所述下電極板為靠近沉積室底壁的電極板。

5.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，

所述進氣管為石英出氣管，所述進氣管的內徑為5～20mm；和/或

所述出氣管為石英出氣管，所述出氣管的內徑大于所述進氣管的內徑，所述出氣管的內徑為5～30mm。

6.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述沉積室(1)包括雙層金屬液冷套。

7.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述熱絲網面的長度為基片臺(32)長度的1～1.2倍，所述熱絲網面的寬度為基片臺(32)寬度的1～1.2倍。

8.根據權利要求1所述的設備，其特征在于，所述熱絲的直徑小于1.0mm。

9.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，所述進氣管(4)有多根，多根進氣管(4)在兩個沉積基體(34)之間均勻分布；所述出氣管(5)有多根，多根出氣管(5)在兩個沉積基體(34)之間均勻分布。