[實用新型]電鍍洗邊結構

有效

• 申請號: 201820975644.6
• 申請日: 2018-06-25
• 公開（公告）號: CN209000872U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 蘇亞青
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 欒美潔

本實用新型公開了一種電鍍洗邊結構，其中包括至少兩條洗邊管路，每一條洗邊管路的前端裝有噴嘴，后端連接化學藥液補給管路，所述噴嘴呈360°圓周均勻分布在晶圓的邊緣；所述噴嘴到晶圓中心的距離相等；每條洗邊管路上均設有開關，可以分別控制每條洗邊管路的打開和關閉。本實用新型在洗邊工藝中采用多條洗邊管路清洗晶圓的邊緣，且可以根據實際需要控制參與清洗的洗邊管路的數量，從而加快洗邊進程，減少洗邊工藝所耗費的時間，提高電鍍機臺的單位產出。

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路制造技術，具體屬于一種電鍍洗邊結構。

背景技術

目前，在半導體制造過程中，對晶圓進行電鍍銅工藝之后，需要將硅晶圓邊緣的銅薄膜進行去除處理(edge bevel remove，簡稱EBR)，如圖1所示，從而避免硅晶圓邊緣的這部分銅在后續工藝中產生脫落，導致產品的不良率提升。

然而，隨著半導體產品的尺寸越來越小，芯片連線所需的銅線線寬也越來越窄，沉積在晶圓邊緣的銅薄膜厚度也越來越薄，電鍍工藝所用的時間越來越短，在節點為28nm及以下的電鍍設備中，洗邊工藝所花費的時間無法隨著電鍍工藝相應地成比例減少，這就限制了電鍍工藝的生產效率，成為整個電鍍設備產能提高的瓶頸。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種電鍍洗邊結構，可以解決洗邊工藝效率低耗時多的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的電鍍洗邊結構，包括至少兩條洗邊管路，每一條洗邊管路的前端裝有噴嘴，后端連接化學藥液補給管路，所述噴嘴呈360°圓周均勻分布在晶圓的邊緣。

在上述結構中，所述噴嘴到晶圓中心的距離相等。

較佳的，所述洗邊管路的數量為2-10條。

在上述結構中，所述洗邊管路共同連接一條化學藥液補給管路。

或者在上述結構中，每條洗邊管路連接一條獨立的化學藥液補給管路。

在上述結構中，每條洗邊管路上均設有開關，可以分別控制每條洗邊管路的打開和關閉。

其中，所述化學藥液補給管路輸送的是硫酸和雙氧水的混合液。

本實用新型在洗邊工藝中采用多條洗邊管路清洗晶圓的邊緣，且可以根據實際需要控制參與清洗的洗邊管路的數量，從而加快洗邊進程，減少洗邊工藝所耗費的時間，提高電鍍機臺的單位產出。

附圖說明

圖1為現有的電鍍洗邊結構的示意圖；

圖2為本實用新型的電鍍洗邊結構的第一實施例示意圖；

圖3位本實用新型的電鍍洗邊結構的第二實施例示意圖。

其中附圖標記說明如下：

1為晶圓；2為洗邊管路；3為噴嘴。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

本實用新型的電鍍洗邊結構，包括至少兩條洗邊管路2，每一條洗邊管路2的前端裝有噴嘴3，后端連接化學藥液補給管路，所述噴嘴3呈360°圓周均勻分布在晶圓1的邊緣。

第一實施例

如圖2所示，在本實施例中，電鍍洗邊結構包括兩條洗邊管路2，這兩條洗邊管路2關于晶圓1的中心均勻分布在晶圓1的邊緣，即兩噴嘴3之間的夾角為180°且兩個噴嘴3到晶圓中心的距離相等。

第二實施例