[實(shí)用新型]一種磁控濺射設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820969086.2
• 申請日: 2018-06-22
• 公開（公告）號: CN208762572U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉洋;汪振南;雷紹溫;楊永雷;見東偉;張偉;鄔英;劉福山;韓曉琳
• 申請（專利權(quán)）人: 山西米亞索樂裝備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京英創(chuàng)嘉友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11447
• 代理人: 陳慶超;桑傳標(biāo)

1.一種磁控濺射設(shè)備，其特征在于，包括：設(shè)置在所述設(shè)備的真空腔室(1)內(nèi)的網(wǎng)狀屏蔽板(2)；

所述真空腔室(1)內(nèi)包括一個(gè)或多個(gè)鍍膜腔(3)，所述網(wǎng)狀屏蔽板設(shè)置在所述鍍膜腔(3)內(nèi)的側(cè)壁上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射設(shè)備，其特征在于，所述鍍膜腔(3)內(nèi)的側(cè)壁還設(shè)置有防護(hù)板(4)，所述網(wǎng)狀屏蔽板(2)設(shè)置在所述防護(hù)板(4)外側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射設(shè)備，其特征在于，所述網(wǎng)狀屏蔽板(2)是由銅合金線通過交叉打結(jié)編織制成的網(wǎng)狀板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述銅合金線的直徑為1～2mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述防護(hù)板(4)為1.2～1.8㎜厚的鋼板。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述鍍膜腔(3)的內(nèi)壁上預(yù)留有安裝孔，用于安裝所述防護(hù)板(4)和所述網(wǎng)狀屏蔽板(2)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述鍍膜腔(3)的上下兩內(nèi)壁設(shè)置有連接件，用于與所述防護(hù)板(4)和所述網(wǎng)狀屏蔽板(2)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射設(shè)備，其特征在于，所述鍍膜腔(3)內(nèi)設(shè)置有磁控濺射靶(5)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述鍍膜腔(3)為四個(gè)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁控濺射設(shè)備，其中所述網(wǎng)狀屏蔽板(2)和所述磁控濺射靶(5)相隔距離為70～100mm。