[實(shí)用新型]一種真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820962066.2
• 申請(qǐng)日: 2018-06-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208440688U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇艷波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技（北京）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;吳歡燕

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。所述真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備包括蒸發(fā)腔室，用于支撐所述蒸發(fā)腔室的腔室支架，以及用于驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源進(jìn)出所述蒸發(fā)腔室的驅(qū)動(dòng)設(shè)備。本實(shí)用新型的真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，設(shè)置了腔室支架用于支撐蒸發(fā)腔室，還設(shè)置了用于驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源進(jìn)出所述蒸發(fā)腔室的驅(qū)動(dòng)設(shè)備，使蒸發(fā)源可以從腔室本體底部進(jìn)出蒸發(fā)腔室，維護(hù)或添料時(shí)，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備用于驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源進(jìn)出蒸發(fā)腔室，便于維護(hù)和換料；驅(qū)動(dòng)設(shè)備的增設(shè)，有效減少了人力支出，大大降低了人工取放和操作蒸發(fā)源的難度，尤其是大體積大質(zhì)量蒸發(fā)源的難度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)

蒸發(fā)鍍膜法指在真空室中，加熱蒸發(fā)容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面氣化逸出，形成蒸氣流，入射到固體(稱為襯底或基片)表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法，是太陽(yáng)能電池領(lǐng)域常用的鍍膜方法。傳統(tǒng)的真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備經(jīng)常采用坩堝作為蒸發(fā)源，但坩堝體積較小，所盛放的蒸發(fā)材料較少，需要頻繁的填加蒸發(fā)材料，難以滿足太陽(yáng)能領(lǐng)域及產(chǎn)線鍍膜設(shè)備的產(chǎn)能要求。

目前，現(xiàn)有技術(shù)研制出較大體積的蒸發(fā)源，一次可以盛放較多蒸發(fā)材料，極大的延長(zhǎng)了換料時(shí)間。但較重的蒸發(fā)源材料，加之蒸發(fā)源本身質(zhì)量較大，不便于維護(hù)和換料。因此，有必要設(shè)計(jì)一種蒸發(fā)源固定裝置，可以將蒸發(fā)源置于其上，方便進(jìn)行維護(hù)，降低人工操作難度。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

本實(shí)用新型旨在提供一種真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，以解決大體積蒸發(fā)源由于質(zhì)量較大所導(dǎo)致的不易維護(hù)和蒸發(fā)操作的技術(shù)問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，其包括蒸發(fā)腔室，用于支撐所述蒸發(fā)腔室的腔室支架，以及用于驅(qū)動(dòng)蒸發(fā)源進(jìn)出所述蒸發(fā)腔室的驅(qū)動(dòng)設(shè)備。

進(jìn)一步地，所述蒸發(fā)腔室包括腔室本體，所述腔室本體的底部設(shè)有供所述蒸發(fā)源通過(guò)的通孔，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備可驅(qū)動(dòng)所述蒸發(fā)源自所述通孔進(jìn)出所述腔室本體。在進(jìn)行蒸發(fā)工藝時(shí)，蒸發(fā)源位于所述腔室本體下方；腔室本體內(nèi)部還水平設(shè)置了襯底，襯底位于蒸發(fā)源上部，且與進(jìn)入腔室本體內(nèi)的蒸發(fā)源頂部保持一定距離。

優(yōu)選的，所述蒸發(fā)腔室還包括腔室蓋，所述腔室蓋覆蓋于腔室本體頂部，且與腔室本體密封連接。優(yōu)選的，所述腔室本體置于所述腔室支架頂部，并通過(guò)螺栓與腔室支架連接。

優(yōu)選的，所述腔室支架水平置于平臺(tái)或水平地面上，并與平臺(tái)或水平地面固定連接。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)設(shè)備包括用于驅(qū)動(dòng)所述蒸發(fā)源自所述通孔縱向進(jìn)出所述腔室本體的縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及用于驅(qū)動(dòng)所述蒸發(fā)源在所述蒸發(fā)腔室下方進(jìn)行橫向移動(dòng)的橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連接，這樣確保了縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的聯(lián)動(dòng)，縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可在橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下橫向移動(dòng)，使得整個(gè)驅(qū)動(dòng)設(shè)備的結(jié)構(gòu)更加緊湊。

進(jìn)一步地，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括豎直導(dǎo)軌，用于承載所述蒸發(fā)源的托板，以及用于帶動(dòng)所述托板沿所述豎直導(dǎo)軌縱向滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件，所述豎直導(dǎo)軌與所述橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)相連接，且可在所述橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下橫向移動(dòng)。優(yōu)選的，所述蒸發(fā)源通過(guò)螺栓安裝在所述托板上。

進(jìn)一步地，所述橫向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括水平導(dǎo)軌和底板，所述底板的底面可滑動(dòng)地設(shè)于所述水平導(dǎo)軌上，所述豎直導(dǎo)軌的底部設(shè)于所述底板的頂面上。

進(jìn)一步地，所述縱向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括豎直滑塊，所述豎直滑塊的一端可滑動(dòng)地設(shè)于所述豎直導(dǎo)軌上，所述豎直滑塊的另一端與所述托板連接。優(yōu)選的，所述豎直滑塊的另一端通過(guò)螺栓與所述托板連接。

進(jìn)一步地，所述驅(qū)動(dòng)件包括第一絲杠和帶動(dòng)所述第一絲杠旋轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述第一絲杠與所述豎直導(dǎo)軌平行設(shè)置，所述豎直滑塊內(nèi)設(shè)有與所述第一絲杠的外螺紋相配合的內(nèi)螺紋，使得所述第一絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)所述豎直滑塊沿豎直導(dǎo)軌上下運(yùn)動(dòng)；