[實(shí)用新型]研磨模塊及包括其的基板研磨裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820960598.2 | 申請(qǐng)日： | 2018-06-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN208592709U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-03-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 林鐘逸;趙珳技 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 凱斯科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/10 | 分類號(hào)： | B24B37/10;B24B37/20;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京冠和權(quán)律師事務(wù)所 11399 | 代理人： | 朱健;張國(guó)香 |
| 地址： | 韓國(guó)京畿*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 驅(qū)動(dòng)軸 基板研磨裝置 研磨墊 研磨液 基板 流體供給部 基底部件 基板供給 基板上部 供給部 研磨面 流體 加壓 | ||
1.一種研磨模塊，其特征在于，其包括：
研磨墊，其設(shè)置于基板上部，與所述基板相接觸并研磨所述基板；
基底部件，其下側(cè)設(shè)置有所述研磨墊；
驅(qū)動(dòng)軸，其設(shè)置于所述基底部件的上部；
流體供給部，其設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)軸，通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)軸供給加壓所述研磨墊的流體；以及
研磨液供給部，其在所述驅(qū)動(dòng)軸，通過(guò)與所述流體供給部不同的流路，向基板的被研磨面供給研磨液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨模塊，其特征在于，
所述驅(qū)動(dòng)軸形成有研磨液管，研磨液管形成為沿著所述驅(qū)動(dòng)軸的長(zhǎng)度方向從所述驅(qū)動(dòng)軸的上端貫通至下端，用于供給研磨液，
所述研磨液管的上端與所述研磨液供給部相連通，下端與所述基底部件相連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨模塊，其特征在于，
所述研磨液供給部以與所述研磨液管可拆卸的形式形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨模塊，其特征在于，
還包括流體供給管體，流體供給管體設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)軸，通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)軸向所述研磨墊供給流體，
所述流體供給管體以與所述驅(qū)動(dòng)軸具有同軸的形式并以圍繞所述驅(qū)動(dòng)軸的外周的形式形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨模塊，其特征在于，所述流體供給管體包括：
外殼，其形成有中孔，所述驅(qū)動(dòng)軸插入于中孔；以及
流體管，其形成于所述外殼內(nèi)部，提供流體的流動(dòng)通道，以便流體供給至所述基底部件。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨模塊，其特征在于，
形成有多個(gè)所述流體管，
所述多個(gè)流體管以所述驅(qū)動(dòng)軸的中心為基準(zhǔn)，沿著外殼的圓周方向以一定間隔配置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨模塊，其特征在于，
所述流體管的入口形成在所述外殼的外周面，出口與所述基底部件相連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨模塊，其特征在于，
所述流體管的所述入口在所述外殼的外周面以相互不同的高度形成。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨模塊，其特征在于，
所述流體管的所述出口以所述驅(qū)動(dòng)軸的中心為基準(zhǔn)，沿著外殼的圓周方向以一定間隔形成。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨模塊，其特征在于，
還包括流體供給口，流體供給口向所述流體供給管體供給流體，
所述流體供給口與所述流體管的入口相連通。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的研磨模塊，其特征在于，
所述流體管的所述入口在所述外殼的外周面以相互不同的高度形成，
形成有分別與所述入口相連通的多個(gè)所述流體供給口。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨模塊，其特征在于，
還包括分配板，分配板設(shè)置于所述基底部件的下側(cè)，
所述分配板形成有多個(gè)噴射孔，噴射孔對(duì)從所述研磨液供給部供給的研磨液進(jìn)行分配。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨模塊，其特征在于，
所述研磨墊具有矩形、正方形、多邊形、圓形、橢圓形中任意一種形狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨模塊，其特征在于，
還包括驅(qū)動(dòng)部，驅(qū)動(dòng)部以使得所述研磨墊以與所述基板相接觸的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)的形式進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，
所述驅(qū)動(dòng)部使得所述研磨墊進(jìn)行與所述基板表面平行的圓軌道旋轉(zhuǎn)或橢圓軌道旋轉(zhuǎn)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的研磨模塊，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部還包括：
偏心軸，其設(shè)置在與所述驅(qū)動(dòng)軸偏心的位置。
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