[實用新型]取放機構(gòu)及傳送裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820941429.4 | 申請日: | 2018-06-19 |
| 公開(公告)號: | CN208580722U | 公開(公告)日: | 2019-03-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 胡慶為 | 申請(專利權)人: | 東泰高科裝備科技(北京)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 韓建偉;謝湘寧 |
| 地址: | 102200 北京市昌平*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 取放機構(gòu) 載具 轉(zhuǎn)動 卡接部 本實用新型 傳送裝置 卡接 避讓位置 可靠連接 連接牢固 生產(chǎn)效率 轉(zhuǎn)動卡接 可轉(zhuǎn)動 取放 | ||
1.一種取放機構(gòu),用于取放載具,其特征在于,所述取放機構(gòu)包括:
轉(zhuǎn)動部(20),可轉(zhuǎn)動地設置;
卡接部(30),與所述轉(zhuǎn)動部(20)連接,所述轉(zhuǎn)動部(20)用于帶動所述卡接部(30)轉(zhuǎn)動,所述卡接部(30)能夠轉(zhuǎn)動到與所述載具卡接的卡接位置以及與所述載具分離的避讓位置。
2.根據(jù)權利要求1所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述卡接部(30)包括:
轉(zhuǎn)動件(31),與所述轉(zhuǎn)動部(20)連接;
卡接件(32),凸出設置于所述轉(zhuǎn)動件(31)上,所述卡接件(32)用于與所述載具卡接。
3.根據(jù)權利要求2所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述轉(zhuǎn)動件(31)為圓盤狀結(jié)構(gòu),所述卡接件(32)沿所述轉(zhuǎn)動件(31)的徑向凸出設置于所述轉(zhuǎn)動件(31)的圓周面,所述卡接件(32)為多個,多個所述卡接件(32)沿所述轉(zhuǎn)動件(31)的圓周方向間隔設置。
4.根據(jù)權利要求2所述的取放機構(gòu),其特征在于,沿所述轉(zhuǎn)動件(31)的轉(zhuǎn)動方向,所述卡接件(32)具有第一側(cè)面(321)和第二側(cè)面(322),從所述第一側(cè)面(321)到所述第二側(cè)面(322)的方向,所述卡接件(32)的厚度逐漸減小,所述第二側(cè)面(322)用于與所述載具的卡槽的槽底抵接。
5.根據(jù)權利要求1所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述取放機構(gòu)還包括支承部(10),所述支承部(10)包括第一座體(11),所述轉(zhuǎn)動部(20)包括轉(zhuǎn)軸(21),所述轉(zhuǎn)軸(21)可轉(zhuǎn)動地設置在所述第一座體(11)的腔體內(nèi),所述卡接部(30)與所述轉(zhuǎn)軸(21)的端部連接。
6.根據(jù)權利要求5所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述支承部(10)還包括軸承(12),所述軸承(12)設置在所述第一座體(11)的腔體內(nèi),所述轉(zhuǎn)軸(21)穿設通過所述軸承(12),所述轉(zhuǎn)軸(21)豎直設置,所述轉(zhuǎn)軸(21)的側(cè)壁上具有限位臺階,所述限位臺階與所述軸承(12)的上端面抵接。
7.根據(jù)權利要求5所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述支承部(10)還包括第二座體(13),所述第二座體(13)與所述第一座體(11)連接,所述取放機構(gòu)還包括:
驅(qū)動部(40),設置在所述第二座體(13)上,所述驅(qū)動部(40)的驅(qū)動軸(41)與所述轉(zhuǎn)軸(21)驅(qū)動連接。
8.根據(jù)權利要求7所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述驅(qū)動部(40)為旋轉(zhuǎn)氣缸,所述第二座體(13)的腔體與所述第一座體(11)的腔體連通,所述驅(qū)動軸(41)穿設在所述第二座體(13)的腔體中,所述轉(zhuǎn)動部(20)還包括聯(lián)軸器(22),所述驅(qū)動軸(41)與所述轉(zhuǎn)軸(21)通過所述聯(lián)軸器(22)連接。
9.根據(jù)權利要求5所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述取放機構(gòu)還包括:
限位部(50),所述限位部(50)與所述第一座體(11)連接,所述限位部(50)用于限制所述載具轉(zhuǎn)動以使所述卡接部(30)與所述載具卡接或分離。
10.根據(jù)權利要求9所述的取放機構(gòu),其特征在于,所述限位部(50)包括:
限位柱(51),所述限位柱(51)用于與所述載具插接。
11.一種傳送裝置,包括載具(200)和取放機構(gòu)(100),所述載具(200)用于盛放物料,所述取放機構(gòu)(100)用于取放所述載具(200),其特征在于,所述取放機構(gòu)(100)為權利要求1至10中任一項所述的取放機構(gòu)(100),所述載具(200)具有用于與所述取放機構(gòu)(100)的卡接部(30)配合連接的卡槽(201)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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