[實用新型]一種磁控濺射設備有效
| 申請號： | 201820940849.0 | 申請日： | 2018-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN208517520U | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發明（設計）人： | 盧鳳瑜 | 申請（專利權）人： | 德州易能新能源科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 陳超 |
| 地址： | 251200 山東省德州市（禹城）國家高*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓條 靶材 磁控濺射設備 遮罩 本實用新型 陽極 凸起部 電離 開口 陰極 絕緣隔離層 自由行程 電勢能 尖端處 外部 延伸 | ||
【權利要求書】：
1.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括：
靶材，設置為陰極；
遮罩殼，設置在所述靶材外部，將所述靶材罩設在其內部，所述遮罩殼具有開口；
絕緣隔離層，設置在所述遮罩殼和所述靶材之間；
至少一個壓條，設置為陽極，其一端與所述的開口固定連接,其另一端形成凸起部，所述凸起部與所述壓條處于同一平面,并向外延伸,形成尖端。
2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述凸起部設置為逐漸收縮至所述尖端。
3.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述凸起部設置為逐漸擴大及逐漸收縮至所述尖端。
4.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述尖端結構為三角形，所述凸起部的尖端結構形成尖韌狀。
5.根據權利要求4所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述三角形狀的頂角為0-30度。
6.根據權利要求5所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述三角形狀的頂角為0-10度。
7.根據權利要求1-3任一項所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述凸起部的最高點向外延伸形成針狀結構。
8.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述壓條為2個，且相對設置。
9.根據權利要求1所述的一種磁控濺射設備，其特征在于，所述遮罩殼為方形；
所述壓條為4個，分布在所述遮罩殼的四周。
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