[實用新型]一種氣相沉積裝置有效

申請號：	201820933204.4	申請日：	2018-06-15
公開（公告）號：	CN208532926U	公開（公告）日：	2019-02-22
發明（設計）人：	葉侃	申請（專利權）人：	南通常安能源有限公司
主分類號：	C23C16/00	分類號：	C23C16/00;C23C16/52
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	226000 江蘇省南***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	反應管加熱爐支撐架流量計轉軸動力機構液壓表蓋板本實用新型沉積裝置控制閥工作效率
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【權利要求書】：

1.一種氣相沉積裝置，其特征在于，其包括動力機構、真空流量計、連接塊、支撐架、轉軸、加熱爐、反應管、蓋板、控制閥、泵、液壓表，動力機構與真空流量計相連，動力機構、真空流量計都與連接塊相連，連接塊與多個支撐架相連，支撐架與反應管相連，連接塊與多個轉軸相連，轉軸位于支撐架一側，泵安裝在反應管一端，蓋板與反應管的另一端相連，蓋板與控制閥相連，加熱爐、液壓表都安裝在反應管上，加熱爐位于液壓表一側，加熱爐與多個轉軸相連，其中：

動力機構包括軸承、齒輪、轉子、渦輪，齒輪、轉子、渦輪都與軸承相連，齒輪與轉子相連，轉子與渦輪相連。

2.如權利要求1所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述動力機構、真空流量計、加熱爐上都設有顯示器。

3.如權利要求2所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述加熱爐上設有多個圓孔。

4.如權利要求2所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述動力機構、真空流量計上都設有底座。

5.如權利要求4所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述真空流量計上設有小孔。

6.如權利要求5所述的氣相沉積裝置，其特征在于，所述真空流量計通過管道與反應管相連。

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