[實用新型]一種磨前自動測電阻率及PN型的設備有效
| 申請號: | 201820922177.0 | 申請日: | 2018-06-14 |
| 公開(公告)號: | CN208422863U | 公開(公告)日: | 2019-01-22 |
| 發明(設計)人: | 溫寧;安陶然 | 申請(專利權)人: | 沈陽昊霖智能裝備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 沈陽亞泰專利商標代理有限公司 21107 | 代理人: | 王榮亮 |
| 地址: | 110141 遼寧*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 伸縮氣缸 模組 人工成本 生產效率 滑動 電阻率 放置柜 輸送線 支撐架 機箱 傳統檢測方式 電阻率檢測 錯誤率 檢測筆 連接架 上端部 檢測 自動化 | ||
一種磨前自動測電阻率及PN型的設備,解決傳統檢測方式存在的人工成本高,勞動強度大,生產效率低,錯誤率高,影響產成品質量的問題。包括設置在輸送線側部的機箱放置柜,其特征在于:機箱放置柜位于輸送線上方的上端部,設置有X軸直線運動模組;X軸直線運動模組的X軸滑動臺上設置有Y軸直線運動模組,Y軸直線運動模組的Y軸滑動臺上設置有檢測機構;檢測機構的檢測連接架上分別設置有第一伸縮氣缸和第二伸縮氣缸;第一伸縮氣缸下部的第一支撐架上設置有電阻率檢測筆,第二伸縮氣缸下部的第二支撐架上設置有PN型檢測筆。其設計合理,結構緊湊,自動化程度高,檢測精確性好,勞動強度低,可有效提升生產效率,降低人工成本。
技術領域
本實用新型屬于機械設備技術領域,具體涉及一種自動化程度高,檢測精確性好,勞動強度低,可有效提升生產效率,降低人工成本的磨前自動測電阻率及PN型的設備。
背景技術
在太陽能小硅錠的生產過程中,需要檢測硅錠的電阻率以及PN型。現有硅錠電阻率和PN型的檢測工藝為:操作人員手持電阻率測試筆或PN型測試筆,在硅錠表面相應的工藝規定測量點位分別進行測量,再將測量數據手動記錄。這種傳統的檢測方式,不但人工成本高、勞動強度大,生產效率低,而且錯誤率高,嚴重影響產成品的質量。故有必要對現有技術的硅錠電阻率及PN型檢測方式和裝置進行改進。
實用新型內容
本實用新型就是針對上述問題,提供一種自動化程度高,檢測精確性好,勞動強度低,可有效提升生產效率,降低人工成本的磨前自動測電阻率及PN型的設備。
本實用新型所采用的技術方案是:該磨前自動測電阻率及PN型的設備包括設置在輸送線側部的機箱放置柜,其特征在于:所述機箱放置柜位于輸送線上方的上端部,設置有沿輸送線傳送方向布置的X軸直線運動模組;X軸直線運動模組的X軸滑動臺上,設置有沿與輸送線傳送方向相垂直的水平方向布置的Y軸直線運動模組,且Y軸直線運動模組位于輸送線的上方;所述Y軸直線運動模組的Y軸滑動臺上設置有檢測機構,檢測機構包括與Y軸滑動臺相連的檢測連接架,檢測連接架上分別設置有豎直向下布置的第一伸縮氣缸和第二伸縮氣缸;所述第一伸縮氣缸下部的伸縮端設置有第一支撐架,第一支撐架上可拆卸式設置有電阻率檢測筆;所述第二伸縮氣缸下部的伸縮端設置有第二支撐架,第二支撐架上可拆卸式設置有PN型檢測筆。
所述輸送線沿傳送方向的前端的側部設置有擋停機構,擋停機構由水平布置的擋停氣缸構成,擋停氣缸的伸縮端朝向輸送線的內側;擋停氣缸伸縮端的前部設置有伸縮擋板;擋停機構擋停氣缸的缸體通過擋停連接架與輸送線的側部相連。以利用擋停機構的伸縮擋板將待檢測硅錠擋停在檢測工位,方便檢測機構對硅錠電阻率和PN型的檢測。
所述擋停機構的伸縮擋板朝向待檢測硅錠前端的一側,設置有轉動擋輪。以便于擋停機構對待檢測硅錠的擋停,并有效避免對硅錠端面的損傷。
所述檢測機構的第一支撐架包括與第一伸縮氣缸下部伸縮端相連的緩沖連接板,緩沖連接板上設置有豎直布置的直線軸承,直線軸承內設置有彈性緩沖立軸,彈性緩沖立軸的下端部設置有T型安裝板;所述電阻率檢測筆豎直設置在T型安裝板的中部凸緣上。以在第一伸縮氣缸帶動電阻率檢測筆下降、對待檢測硅錠表面進行電阻率接觸檢測時,通過T型安裝板與緩沖連接板之間布置的彈性緩沖立軸的緩沖作用,有效避免硅錠堅硬表面對電阻率檢測筆測試端的損壞。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





