[實(shí)用新型]一種磨前自動測電阻率及PN型的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820922177.0
• 申請日: 2018-06-14
• 公開（公告）號: CN208422863U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫寧;安陶然
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽昊霖智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 21107
• 代理人: 王榮亮

1.一種磨前自動測電阻率及PN型的設(shè)備，包括設(shè)置在輸送線（1）側(cè)部的機(jī)箱放置柜（4），其特征在于：所述機(jī)箱放置柜（4）位于輸送線（1）上方的上端部，設(shè)置有沿輸送線（1）傳送方向布置的X軸直線運(yùn)動模組（5）；X軸直線運(yùn)動模組（5）的X軸滑動臺（12）上，設(shè)置有沿與輸送線（1）傳送方向相垂直的水平方向布置的Y軸直線運(yùn)動模組（6），且Y軸直線運(yùn)動模組（6）位于輸送線（1）的上方；所述Y軸直線運(yùn)動模組（6）的Y軸滑動臺（13）上設(shè)置有檢測機(jī)構(gòu)（7），檢測機(jī)構(gòu)（7）包括與Y軸滑動臺（13）相連的檢測連接架（14），檢測連接架（14）上分別設(shè)置有豎直向下布置的第一伸縮氣缸（15）和第二伸縮氣缸（18）；所述第一伸縮氣缸（15）下部的伸縮端設(shè)置有第一支撐架（16），第一支撐架（16）上可拆卸式設(shè)置有電阻率檢測筆（17）；所述第二伸縮氣缸（18）下部的伸縮端設(shè)置有第二支撐架（19），第二支撐架（19）上可拆卸式設(shè)置有PN型檢測筆（20）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨前自動測電阻率及PN型的設(shè)備，其特征在于：所述輸送線（1）沿傳送方向的前端的側(cè)部設(shè)置有擋停機(jī)構(gòu)（3），擋停機(jī)構(gòu)（3）由水平布置的擋停氣缸（8）構(gòu)成，擋停氣缸（8）的伸縮端朝向輸送線（1）的內(nèi)側(cè)；擋停氣缸（8）伸縮端的前部設(shè)置有伸縮擋板（10）；擋停機(jī)構(gòu)（3）擋停氣缸（8）的缸體通過擋停連接架（9）與輸送線（1）的側(cè)部相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨前自動測電阻率及PN型的設(shè)備，其特征在于：所述擋停機(jī)構(gòu)（3）的伸縮擋板（10）朝向待檢測硅錠（2）前端的一側(cè)，設(shè)置有轉(zhuǎn)動擋輪（11）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨前自動測電阻率及PN型的設(shè)備，其特征在于：所述檢測機(jī)構(gòu)（7）的第一支撐架（16）包括與第一伸縮氣缸（15）下部伸縮端相連的緩沖連接板（21），緩沖連接板（21）上設(shè)置有豎直布置的直線軸承（22），直線軸承（22）內(nèi)設(shè)置有彈性緩沖立軸（23），彈性緩沖立軸（23）的下端部設(shè)置有T型安裝板（24）；所述電阻率檢測筆（17）豎直設(shè)置在T型安裝板（24）的中部凸緣上。