[實用新型]一種膜厚調節器及蒸鍍設備

有效

• 申請號: 201820920223.3
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN208701187U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 常建兵;何麟;朱修劍
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 孫燕娟

本實用新型提供一種膜厚調節器及蒸鍍設備，所述膜厚調節器包括：線源以及設置于所述線源上的噴嘴組，所述線源具有一噴嘴安裝面，所述噴嘴組包括沿線源方向設在所述噴嘴安裝面的多個噴嘴。該膜厚調節器及蒸鍍設備，有效改善蒸鍍膜的均一性。

技術領域

本實用新型涉及蒸鍍技術領域，具體涉及一種膜厚調節器及蒸鍍設備。

背景技術

現有OLED面板的生產中通常采用蒸鍍工藝使發光材料附著到基板上，在量產中蒸鍍發光材料需要使用到線性蒸發源(簡稱線源)。蒸鍍成膜法形成的膜可以稱為蒸鍍膜，蒸鍍膜的厚度不同會導致OLED顯示器件的發光亮度和色度存在差異，影響OLED顯示器件的顯示效果及使用壽命。

實用新型內容

本實用新型實施例的目的包括提供一種膜厚調節器及蒸鍍設備，用于改善蒸鍍膜的均一性。

本實用新型實施例提供一種膜厚調節器，所述膜厚調節器包括：線源以及設置于所述線源上的噴嘴組，所述線源具有一噴嘴安裝面，所述噴嘴組包括沿線源方向設置于所述噴嘴安裝面的多個噴嘴。

優選地，所述噴嘴還包括補償噴嘴，所述補償噴嘴與所述噴嘴為分體式結構或一體式結構。

優選地，所述補償噴嘴與所述噴嘴為一體式結構，設置于所述噴嘴安裝面上。

優選地，所述補償噴嘴與所述噴嘴為分體式結構，所述補償噴嘴分設于所述噴嘴一側或兩側。

優選地，所述補償噴嘴設置于所述噴嘴的左側或右側。

優選地，所述噴嘴包括第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴……第N噴嘴，所述補償噴嘴包括第一補償噴嘴、第二補償噴嘴、第三補償噴嘴……第M補償噴嘴，其中，M大于等于N。

優選地，所述補償噴嘴設置于所述噴嘴的兩側。

優選地，所述噴嘴包括第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴……第N噴嘴，所述補償噴嘴包括第一補償噴嘴、第二補償噴嘴、第三補償噴嘴……第M補償噴嘴，其中，M大于等于N。

本實用新型實施例還提供一種蒸鍍設備，包括前述膜厚調節器。

本實用新型實施例提供的一種膜厚調節器及蒸鍍設備，利用補償噴嘴具有可調節大小的閥門，在蒸鍍過程中，當晶振片測得某個位置的膜厚相對較小時，會適當的打開對應位置的補充噴嘴的閥門，以補償該位置的膜厚，該設計可以使得在蒸鍍過程實時調控膜厚，有效改善蒸鍍膜的均一性，提高良品率。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例提供的一種膜厚調節器的結構示意圖。

圖2為本實用新型第二實施例提供的一種膜厚調節器的結構示意圖。

圖3為本實用新型第三實施例提供的一種膜厚調節器的結構示意圖。

圖4為本實用新型第四實施例提供的一種膜厚調節器的結構示意圖。

具體實施方式

為更進一步闡述本實用新型為達成預定目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據本實用新型提出的一種膜厚調節器及蒸鍍設備的具體實施方式、方法、步驟、結構、特征及功效，詳細說明如后。