[實用新型]一種膜厚調節器及蒸鍍設備有效
| 申請號： | 201820920223.3 | 申請日： | 2018-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN208701187U | 公開（公告）日： | 2019-04-05 |
| 發明（設計）人： | 常建兵;何麟;朱修劍 | 申請（專利權）人： | 昆山國顯光電有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海波拓知識產權代理有限公司 31264 | 代理人： | 孫燕娟 |
| 地址： | 215300 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調節器 膜厚 蒸鍍設備 線源 噴嘴組 本實用新型 噴嘴安裝面 噴嘴安裝 噴嘴 均一性 蒸鍍膜 | ||
1.一種膜厚調節器，其特征在于，所述膜厚調節器包括：線源以及設置于所述線源上的噴嘴組，所述線源具有一噴嘴安裝面，所述噴嘴組包括沿線源方向設置于所述噴嘴安裝面的多個噴嘴，所述噴嘴還包括補償噴嘴，該補償噴嘴具有可調節噴嘴開口大小的閥門。
2.根據權利要求1所述的膜厚調節器，其特征在于，所述補償噴嘴與所述噴嘴為分體式結構或一體式結構。
3.根據權利要求1所述的膜厚調節器，其特征在于，所述補償噴嘴與所述噴嘴為一體式結構，設置于所述噴嘴安裝面上。
4.根據權利要求1所述的膜厚調節器，其特征在于，所述補償噴嘴與所述噴嘴為分體式結構，所述補償噴嘴分設于所述噴嘴一側或兩側。
5.根據權利要求4所述的膜厚調節器，其特征在于，所述補償噴嘴設置于所述噴嘴的左側或右側。
6.根據權利要求5所述的膜厚調節器，其特征在于，所述噴嘴包括第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴……第N噴嘴，所述補償噴嘴包括第一補償噴嘴、第二補償噴嘴、第三補償噴嘴……第M補償噴嘴，其中，M大于等于N。
7.根據權利要求4所述的膜厚調節器，其特征在于，所述補償噴嘴設置于所述噴嘴的兩側。
8.根據權利要求7所述的膜厚調節器，其特征在于，所述噴嘴包括第一噴嘴、第二噴嘴、第三噴嘴……第N噴嘴，所述補償噴嘴包括第一補償噴嘴、第二補償噴嘴、第三補償噴嘴……第M補償噴嘴，其中，M大于等于N。
9.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括權利要求1至8中任一項所述的膜厚調節器。
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