[實用新型]一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置

有效

• 申請號: 201820909690.6
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN208701193U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 劉強;駱水連;洪明;陳飛鵬;魏廣;秦麗麗;李亞麗;夏成明
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 張潔;仇蕾安

本實用新型屬于真空鍍膜設備領域，具體涉及一種磁控濺射鍍膜機靶前擋板傳動密封裝置。所述裝置包括驅動控制組件和波紋管傳動密封裝置；波紋管傳動密封裝置包括主動傳力軸、轉動接頭、從動傳力軸、密封波紋管、支撐殼體和法蘭；其中，法蘭的一端固定在真空腔室外壁上，另一端與支撐殼體連接，主動傳力軸、轉動接頭、從動傳力軸和密封波紋管位于支撐殼體中，密封波紋管的一端與轉動接頭連接，另一端與支撐殼體連接，主動傳力軸穿過支撐殼體壁與驅動控制組件連接，從動傳力軸位于密封波紋管中，從動傳力軸的一端通過轉動接頭與主動傳力軸連接，另一端穿過支撐殼體壁與擋板組件連接。所述裝置可有效解決現有遮擋板傳動密封裝置中易泄露的問題。

技術領域

本實用新型屬于真空鍍膜設備領域，具體涉及一種磁控濺射鍍膜機靶前擋板傳動密封裝置。

背景技術

在真空鍍膜的應用中，真空腔室內會同時裝配多種不同的靶和源等。為了防止鍍膜過程中相互影響而污染靶的表面，必須在各自靶和源的前方設置活動遮擋板。遮擋板在真空腔室內開閉，需要傳動密封裝置將旋轉動力從真空腔室外部傳入腔室內部。為了保證真空腔室的真空度，要求傳動裝置穿過腔室壁時能保持良好的密封性能。目前鍍膜設傳動密封裝置多采用O型圈密封或磁流體密封，這種傳統的密封方式需要定期維護，存在動密封傳動的可靠性和泄露問題，造成真空鍍膜腔室污染，嚴重影響鍍膜工藝的穩定性和膜層質量。因此，在真空鍍膜領域需要一種更可靠有效的遮擋板傳動密封裝置。

發明內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置，所述裝置可有效解決現有遮擋板傳動密封裝置中易泄露的問題。

一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置，所述裝置包括驅動控制組件和波紋管傳動密封裝置；波紋管傳動密封裝置包括主動傳力軸、轉動接頭、從動傳力軸、密封波紋管、支撐殼體和法蘭；其中，法蘭的一端固定在真空腔室外壁上，另一端與支撐殼體連接，主動傳力軸、轉動接頭、從動傳力軸和密封波紋管位于支撐殼體中，密封波紋管的一端與轉動接頭連接，另一端與支撐殼體連接，主動傳力軸穿過支撐殼體壁與驅動控制組件連接，從動傳力軸位于密封波紋管中，從動傳力軸的一端通過轉動接頭與主動傳力軸連接，另一端穿過支撐殼體壁與真空腔室中的擋板組件連接。

進一步的，所述傳動密封裝置中的真空密封結構均為機械靜密封。

有益效果：

本實用新型所述裝置，驅動控制組件的驅動力傳給波紋管傳動密封裝置中的主動傳力軸，主動傳力軸通過旋轉接頭將力傳給從動傳力軸，從動傳力軸最終驅動擋板組件運動。由于整個裝置為靜密封結構，從根本上解決現有技術中活動遮擋板傳動裝置真空泄露的問題，降低故障率，減少保養維護次數，大大提高生產效率和產品質量。

附圖說明

圖1是本實用新型總體結構示意圖。

圖2是本實用新型波紋管傳動密封裝置示意圖。

圖中，1-驅動控制組件，2-波紋管傳動密封裝置，3-真空腔室，4-擋板組件；21-主動傳力軸，22-轉動接頭，23-從動傳力軸，24-波紋管，25-支撐殼體，26-法蘭。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型的方法做進一步詳細說明。