[實用新型]一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置

有效

• 申請號: 201820909690.6
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN208701193U
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: 劉強;駱水連;洪明;陳飛鵬;魏廣;秦麗麗;李亞麗;夏成明
• 申請（專利權）人: 蘭州空間技術物理研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 張潔;仇蕾安

1.一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置，其特征在于：所述裝置包括驅動控制組件(1)和波紋管傳動密封裝置(2)；波紋管傳動密封裝置(2)包括主動傳力軸(21)、轉動接頭(22)、從動傳力軸(23)、密封波紋管(24)、支撐殼體(25)和法蘭(26)；其中，法蘭(26)的一端固定在真空腔室(3)外壁上，另一端與支撐殼體(25)連接，主動傳力軸(21)、轉動接頭(22)、從動傳力軸(23)和密封波紋管(24)位于支撐殼體(25)中，密封波紋管(24)的一端與轉動接頭(22)連接，另一端與支撐殼體(25)連接，主動傳力軸(21)穿過支撐殼體(25)壁與驅動控制組件(1)連接，從動傳力軸(23)位于密封波紋管(24)中，從動傳力軸(23)的一端通過轉動接頭(22)與主動傳力軸(21)連接，另一端穿過支撐殼體(25)壁與真空腔室(3)中的擋板組件(4)連接。

2.如權利要求1所述的一種真空鍍膜機靶前遮擋板傳動密封裝置，其特征在于：所述傳動密封裝置中的真空密封結構均為機械靜密封。