[實(shí)用新型]硅片脫膠運(yùn)輸架及硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820907441.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-06-12 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN208538812U | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-02-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉慶;劉傳君;吳勇;張?jiān)?/a>;陳秋杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 山東大海新能源發(fā)展有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 濟(jì)南千慧專利事務(wù)所(普通合伙企業(yè)) 37232 | 代理人: | 趙長(zhǎng)林 |
| 地址: | 257300 山東省東營(yíng)市*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片脫膠 運(yùn)輸架 中部橫桿 固定板 頂部固定桿 螺旋護(hù)套 運(yùn)輸系統(tǒng) 底部固定桿 塑料管 工作效率 脫膠過(guò)程 依次連接 外側(cè)面 運(yùn)輸車 硅片 崩邊 凸起 申請(qǐng) 生產(chǎn)成本 概率 | ||
本申請(qǐng)公開(kāi)了硅片脫膠運(yùn)輸架及硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng),所述運(yùn)輸架兩側(cè)分別設(shè)置有固定板,所述固定板的外側(cè)面設(shè)置有凸起,所述兩個(gè)固定板之間依次連接有兩根頂部固定桿、兩根中部橫桿、兩根底部固定桿,所述頂部固定桿上包裹有螺旋護(hù)套,所述的中部橫桿包裹有塑料管;所述硅片脫膠系統(tǒng)包括運(yùn)輸架及運(yùn)輸車。在本申請(qǐng)中,中部橫桿上設(shè)置有螺旋護(hù)套,大大降低了硅片在脫膠過(guò)程中崩邊的概率,提高了工作效率降低了生產(chǎn)成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請(qǐng)涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及硅片脫膠運(yùn)輸架及脫膠運(yùn)輸系統(tǒng)。
背景技術(shù)
光電領(lǐng)域中,硅是非常重要和常用的半導(dǎo)體原料,是太陽(yáng)能電池最理想的原材料。硅原料一般要經(jīng)過(guò)清洗、鑄錠、切塊、粘膠、切片、脫膠、清洗等工序后,才能用于太陽(yáng)能電池。
在現(xiàn)有生產(chǎn)過(guò)程中,硅片進(jìn)行脫膠時(shí),很容易就會(huì)由于脫膠工裝自身的原因,比如硅片與脫膠工裝之間的碰撞、脫膠工裝在工作時(shí)產(chǎn)生的震動(dòng)、在運(yùn)輸過(guò)程中的震動(dòng)等原因而導(dǎo)致硅片產(chǎn)生崩邊的問(wèn)題,造成了不必要的損失,大大增加了企業(yè)的成本,降低了工作效率,而且由于在脫膠過(guò)程中會(huì)用到砂漿,在清洗工裝時(shí)也會(huì)很麻煩。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)上述問(wèn)題,本申請(qǐng)?zhí)峁┕杵撃z運(yùn)輸架及硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng)。
一方面,本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種硅片脫膠運(yùn)輸架,所述運(yùn)輸架兩側(cè)分別設(shè)置有固定板,所述固定板的外側(cè)面設(shè)置有凸起,所述兩個(gè)固定板之間依次連接有兩根頂部固定桿、兩根中部橫桿、兩根底部固定桿,所述頂部固定桿上包裹有螺旋護(hù)套,所述的中部橫桿包裹有塑料管。
在一個(gè)示例中,螺旋護(hù)套由防酸、防腐蝕、耐磨的硬塑料制成,使得該工裝延長(zhǎng)了使用時(shí)限,增加了工作效率并且降低了成本。
在一個(gè)示例中,所述頂部固定桿與固定板之間為螺紋連接,可以更方面的進(jìn)行拆卸以及包裹螺旋護(hù)套。
在一個(gè)示例中,所述螺旋護(hù)套的兩端直徑大于所述螺旋護(hù)套的中部直徑,可以使得運(yùn)輸架更加穩(wěn)固。
進(jìn)一步的,所述螺旋護(hù)套的兩端直徑為5.5厘米-6厘米之間,所述螺旋護(hù)套的中部直徑為4.5厘米-5厘米之間,該定值下的硅片崩邊率最低。
在一個(gè)示例中,所述螺旋護(hù)套的螺旋方向與所述頂部固定桿的夾角大于等于30度且小于等于90度,該定值下的硅片崩邊率最低。
在一個(gè)示例中,所述螺旋護(hù)套的螺紋深度為2毫米-4毫米之間,該定值下的硅片崩邊率最低。
在一個(gè)示例中,所述螺旋護(hù)套外部表面為鋸齒狀。
另一方面,本申請(qǐng)實(shí)施例提供了一種硅片脫膠系統(tǒng),包括運(yùn)輸架及運(yùn)輸車,所述運(yùn)輸車包括車架,所述車架上表面設(shè)置有凹槽,且凹槽的寬度與固定板的長(zhǎng)度相匹配,所述車架頂面設(shè)置有開(kāi)孔,所述開(kāi)孔通過(guò)管道與下方的砂漿盒連接,所述砂漿盒與管道之間為可拆卸設(shè)計(jì);所述砂漿盒內(nèi)設(shè)置有引風(fēng)機(jī),所述引風(fēng)機(jī)的開(kāi)關(guān)設(shè)置于砂漿盒外表面;所述車架底面設(shè)置有車輪,所述車架側(cè)面設(shè)置有把手。
在實(shí)際工作過(guò)程中,硅片放置在包裹有塑料管的中部橫桿上,由機(jī)械臂抓取固定板外側(cè)的凸起,將運(yùn)輸架移動(dòng)至運(yùn)輸車上,運(yùn)輸架的固定板正好放置在運(yùn)輸車頂面的凹槽內(nèi),由于頂部固定桿包裹有螺旋護(hù)套,減少了移動(dòng)過(guò)程中以及后續(xù)脫膠過(guò)程中可能產(chǎn)生硅片崩邊的可能性,硅片通過(guò)運(yùn)輸車移動(dòng)后,再有機(jī)械臂抓取凸起,將帶有硅片的運(yùn)輸架移動(dòng)至后續(xù)脫膠的設(shè)備上。
在工作完成后,由于管道內(nèi)壁在清洗時(shí)并不十分便利,可先打開(kāi)引風(fēng)機(jī),在風(fēng)力的作用下使得粘在管道內(nèi)的砂漿先一步落至砂漿盒內(nèi),進(jìn)行初步清洗,減少了需要拆開(kāi)清洗砂漿盒以及管道的次數(shù)。
本申請(qǐng)可帶來(lái)如下有益效果:
1.中部橫桿上設(shè)置有螺旋護(hù)套,大大降低了硅片在運(yùn)輸過(guò)程以及脫膠過(guò)程中崩邊的概率,提高了工作效率降低了生產(chǎn)成本。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





