[實(shí)用新型]硅片脫膠運(yùn)輸架及硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201820907441.3 | 申請(qǐng)日: | 2018-06-12 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208538812U | 公開(公告)日: | 2019-02-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉慶;劉傳君;吳勇;張?jiān)?/a>;陳秋杰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 山東大海新能源發(fā)展有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/677 | 分類號(hào): | H01L21/677;H01L21/67 |
| 代理公司: | 濟(jì)南千慧專利事務(wù)所(普通合伙企業(yè)) 37232 | 代理人: | 趙長(zhǎng)林 |
| 地址: | 257300 山東省東營(yíng)市*** | 國(guó)省代碼: | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 硅片脫膠 運(yùn)輸架 中部橫桿 固定板 頂部固定桿 螺旋護(hù)套 運(yùn)輸系統(tǒng) 底部固定桿 塑料管 工作效率 脫膠過程 依次連接 外側(cè)面 運(yùn)輸車 硅片 崩邊 凸起 申請(qǐng) 生產(chǎn)成本 概率 | ||
1.硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述運(yùn)輸架兩側(cè)分別設(shè)置有固定板,所述固定板的外側(cè)面設(shè)置有凸起,所述運(yùn)輸架兩側(cè)的固定板之間依次連接有兩根頂部固定桿、兩根中部橫桿、兩根底部固定桿,所述頂部固定桿上包裹有螺旋護(hù)套,所述的中部橫桿包裹有塑料管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套由硬塑料制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述頂部固定桿與固定板之間的連接為螺紋連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套兩端直徑相等且大于所述螺旋護(hù)套中部直徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套的兩端直徑為5.5厘米-6厘米之間,所述螺旋護(hù)套的中部直徑為4.5厘米-5厘米之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套的螺旋方向與所述頂部固定桿的夾角大于等于30度且小于等于90度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套的螺紋深度為2毫米-4毫米之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片脫膠運(yùn)輸架,其特征在于:所述螺旋護(hù)套外部表面為鋸齒狀。
9.一種硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng),其特征在于:包括如權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的硅片脫膠運(yùn)輸架;所述硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng)還包括運(yùn)輸車;所述運(yùn)輸車包括車架,所述車架上表面設(shè)置有凹槽,且凹槽的寬度與固定板的長(zhǎng)度相匹配,所述車架頂面設(shè)置有開孔,所述開孔通過管道與下方的砂漿盒連接,所述砂漿盒與管道之間為可拆卸設(shè)計(jì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅片脫膠運(yùn)輸系統(tǒng),其特征在于:所述砂漿盒內(nèi)設(shè)置有引風(fēng)機(jī),所述引風(fēng)機(jī)的開關(guān)設(shè)置于砂漿盒外表面;所述車架底面設(shè)置有車輪,所述車架側(cè)面設(shè)置有把手。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于山東大海新能源發(fā)展有限公司,未經(jīng)山東大海新能源發(fā)展有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201820907441.3/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇:晶圓盒
- 下一篇:一種用于電池片的上料輸送裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





