[實用新型]一種接觸式曝光用防粘鉻版有效
| 申請號： | 201820900218.6 | 申請日： | 2018-06-12 |
| 公開（公告）號： | CN208207511U | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | 崔子龍;俎阿敏;劉威;吳德生 | 申請（專利權）人： | 信利光電股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 鄧義華;廖苑濱 |
| 地址： | 516600 廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鉻版 二氧化硅 復合薄膜 光刻膠 含氟聚合物 接觸式曝光 接觸曝光 氟硅烷 防粘 分離現象 生產效率 下表面 質量差 粘附 變形 曝光 污染 | ||
1.一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述接觸式曝光用防粘鉻版包括：玻璃承載板、金屬鉻層、防粘貼層，玻璃承載板位于鉻版的最上表面，所述防粘貼層設置在鉻版的最下表面，所述防粘貼層為二氧化硅—含氟聚合物復合薄膜或者二氧化硅—氟硅烷復合薄膜。
2.根據權利要求1所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述玻璃承載板的材質為石英玻璃、蘇打玻璃或者低膨脹玻璃。
3.根據權利要求1所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述接觸式曝光用防粘鉻版由上至下依次設置：玻璃承載板、金屬鉻層、第一氧化鉻層、防粘貼層。
4.根據權利要求3所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，在玻璃承載板和金屬各層之間還設置第二氧化鉻層或第二氮化鉻層。
5.根據權利要求1所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述接觸式曝光用防粘鉻版由上至下依次設置：玻璃承載板、金屬鉻層、第一氮化鉻層、防粘貼層。
6.根據權利要求5所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，在玻璃承載板和金屬各層之間還設置第二氧化鉻層或第二氮化鉻層。
7.根據權利要求1-6中任一項權利要求所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述防粘貼層通過溶膠—凝膠法或者噴涂法或者蒸鍍法或者濺鍍法制備得到。
8.根據權利要求1-6中任一項權利要求所述的一種接觸式曝光用防粘鉻版，其特征在于，所述防粘貼層的厚度為50-150nm。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于信利光電股份有限公司，未經信利光電股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201820900218.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種3D曲面玻璃曝光定位治具
- 下一篇：一種CTP制版機
