[實用新型]一種用于ICP發射光譜儀用氣體控制裝置

有效

• 申請號: 201820898348.0
• 申請日: 2018-06-11
• 公開（公告）號: CN208860744U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 趙永強;李群英
• 申請（專利權）人: 上海光譜儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/73
• 分類號: G01N21/73;G01N21/01
• 代理公司: 上海天翔知識產權代理有限公司 31224
• 代理人: 劉常寶

本實用新型公開了一種用于ICP發射光譜儀用氣體控制裝置，所述氣體控制裝置包括：等離子氣控制系統，所述等離子氣控制系統直接設置在等離子氣體的輸氣管路上；輔助氣控制系統，所述輔助氣控制系統直接設置在輔助氣體的輸氣管路上；霧化氣控制系統，所述霧化器控制系統直接設置在霧化氣體的輸氣管路上；控制器，所述控制器分別與等離子氣控制系統、輔助氣控制系統和霧化氣控制系統控制連接。本實用新型結構簡單、操作方便、工作穩定有效，可實現單氣體輸入和流量等的自動控制。

技術領域

本實用新型涉及一種氣體控制裝置，具體涉及一種用于ICP發射光譜儀用氣體控制裝置。

背景技術

在ICP發射光譜中，ICP的形成過程就是工作氣體的電離過程。為了形成穩定的ICP炬焰需要四個條件：高頻高強度電磁場、工作氣體、維持氣體放電的石英矩管以及電子-離子源。其中工作氣體的流量控制也是形成穩定炬焰的重要前提。在點燃等離體并進行分析測試需要三種氣體的配合才能完成，它們分別是等離子氣，輔助氣和霧化氣。其中，等離子氣的作用是作為工作氣體形成等離子體并冷卻石英矩管；輔助氣用于輔助等離子的形成；霧化氣用于將導入的試樣形成氣溶膠。三路氣體分別起到不同的作用且每路氣體的流量范圍不同和精度不同，故三路氣體需分別獨立控制。

因此，為解決ICP發射光譜儀的氣體自動控制和流量的精確調節，對于等離子體的行成和分析測定具有十分重要的意義。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述問題，從而提供一種用于ICP發射光譜儀用氣體控制裝置。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種用于ICP發射光譜儀用氣體控制裝置，所述氣體控制裝置包括：

等離子氣控制系統，所述等離子氣控制系統直接設置在等離子氣體的輸氣管路上；

輔助氣控制系統，所述輔助氣控制系統直接設置在輔助氣體的輸氣管路上；

霧化氣控制系統，所述霧化氣控制系統直接設置在霧化氣體的輸氣管路上；

控制器，所述控制器分別與等離子氣控制系統、輔助氣控制系統和霧化氣控制系統控制連接。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述等離子氣控制系統包括第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調節閥和若干個第一電磁閥，所述第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調節閥分別依次設置在等離子氣體的輸氣管路上，若干個第一電磁閥分別并聯設置在等離子氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調節閥和若干個第一電磁閥。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述輔助氣控制系統包括第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調節閥和若干個第二電磁閥，所述第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調節閥分別依次設置在輔助氣體的輸氣管路上，若干個第二電磁閥分別并聯設置在輔助氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調節閥和若干個第二電磁閥。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述霧化氣控制系統包括第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調節閥和若干個第三電磁閥，所述第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調節閥分別依次設置在霧化氣體的輸氣管路上，若干個第三電磁閥分別并聯設置在霧化氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調節閥和若干個第三電磁閥。

本實用新型的有益效果是：

本實用新型結構簡單、操作方便、工作穩定有效，可實現單氣體輸入和流量等的自動控制。

附圖說明