[實用新型]一種用于ICP發(fā)射光譜儀用氣體控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820898348.0
• 申請日: 2018-06-11
• 公開（公告）號: CN208860744U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙永強;李群英
• 申請（專利權(quán)）人: 上海光譜儀器有限公司
• 主分類號: G01N21/73
• 分類號: G01N21/73;G01N21/01
• 代理公司: 上海天翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31224
• 代理人: 劉常寶

1.一種用于ICP發(fā)射光譜儀用氣體控制裝置，其特征在于，所述氣體控制裝置包括：

等離子氣控制系統(tǒng)，所述等離子氣控制系統(tǒng)直接設(shè)置在等離子氣體的輸氣管路上；

輔助氣控制系統(tǒng)，所述輔助氣控制系統(tǒng)直接設(shè)置在輔助氣體的輸氣管路上；

霧化氣控制系統(tǒng)，所述霧化氣控制系統(tǒng)直接設(shè)置在霧化氣體的輸氣管路上；

控制器，所述控制器分別與等離子氣控制系統(tǒng)、輔助氣控制系統(tǒng)和霧化氣控制系統(tǒng)控制連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ICP發(fā)射光譜儀用氣體控制裝置，其特征在于，所述等離子氣控制系統(tǒng)包括第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第一電磁閥，所述第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調(diào)節(jié)閥分別依次設(shè)置在等離子氣體的輸氣管路上，若干個第一電磁閥分別并聯(lián)設(shè)置在等離子氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第一進氣口截止閥、第一壓力傳感器、第一壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第一電磁閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ICP發(fā)射光譜儀用氣體控制裝置，其特征在于，所述輔助氣控制系統(tǒng)包括第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第二電磁閥，所述第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調(diào)節(jié)閥分別依次設(shè)置在輔助氣體的輸氣管路上，若干個第二電磁閥分別并聯(lián)設(shè)置在輔助氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第二進氣口截止閥、第二壓力傳感器、第二壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第二電磁閥。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于ICP發(fā)射光譜儀用氣體控制裝置，其特征在于，所述霧化氣控制系統(tǒng)包括第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第三電磁閥，所述第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調(diào)節(jié)閥分別依次設(shè)置在霧化氣體的輸氣管路上，若干個第三電磁閥分別并聯(lián)設(shè)置在霧化氣體的輸氣管路上，所述控制器分別連接第三進氣口截止閥、第三壓力傳感器、第三壓力調(diào)節(jié)閥和若干個第三電磁閥。