[實用新型]等離子體注入機設備有效
| 申請號： | 201820880701.2 | 申請日： | 2018-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN208690202U | 公開（公告）日： | 2019-04-02 |
| 發明（設計）人： | 劉鐵 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01L21/67;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海市錦天城律師事務所 31273 | 代理人： | 何金花 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 預抽真空 傳送室 等離子體注入機 本實用新型 隔離閥 機臺 加氣裝置 對設備 產能 改進 | ||
【權利要求書】：
1.一種等離子體注入機設備，其特征在于，包括：
預抽真空室，所述預抽真空室包括預抽真空室一；
傳送室，設置于所述預抽真空室一的一側，所述預抽真空室一與所述傳送室間設有隔離閥一；
處理室，設置于所述傳送室相對于所述預抽真空室一的另一側，所述處理室包含處理室一；所述傳送室與所述處理室一間設有隔離閥二；以及
加氣裝置，所述加氣裝置至少連接于所述傳送室和所述預抽真空室的任一者。
2.根據權利要求1所述的等離子體注入機設備，其特征在于，所述預抽真空室還包括預抽真空室二，所述預抽真空室二設置于所述傳送室相同于所述預抽真空室一的同一側。
3.根據權利要求2所述的等離子體注入機設備，其特征在于，所述預抽真空室二與所述傳送室間還設有隔離閥三。
4.根據權利要求1所述的等離子體注入機設備，其特征在于，所述處理室還包括處理室二，所述處理室二與所述處理室一并列設置在所述傳送室的同一側。
5.根據權利要求4所述的等離子體注入機設備，其特征在于，所述處理室二與所述傳送室間設有隔離閥四。
6.根據權利要求1所述的等離子體注入機設備，其特征在于，所述預抽真空室相對于所述傳送室的另一端設有裝載室。
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