[實用新型]一種連續(xù)式快速降溫退火爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820877573.6
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208240629U
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐偉;項衛(wèi)光;李有康;李曉明
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江正邦電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;C23C14/58
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 柯利進

1.一種連續(xù)式快速降溫退火爐，包括設(shè)在機架上的爐管，該爐管左右兩端分別設(shè)有進口活動門和出口活動門，其特征是：所述爐管其左邊段中的外部環(huán)設(shè)有加熱裝置，該段爐管內(nèi)腔相應(yīng)為恒溫區(qū)；爐管右邊段中的外部環(huán)設(shè)有冷卻裝置，該段爐管內(nèi)腔相應(yīng)為冷卻區(qū)，并且恒溫區(qū)與冷卻區(qū)之間的爐管內(nèi)腔相應(yīng)為緩冷區(qū)，該緩冷區(qū)中設(shè)有隔熱活動門；所述爐管進口至恒溫區(qū)左端之間的爐管內(nèi)腔相應(yīng)為預(yù)熱區(qū)，冷卻區(qū)右端至爐管出口之間的爐管內(nèi)腔相應(yīng)為出口區(qū)；所述預(yù)熱區(qū)、緩冷區(qū)和出口區(qū)的爐管上分別設(shè)有進氣管；所述爐管左右兩端部上分別設(shè)有排氣管及排氣閥，所述爐管的恒溫區(qū)和冷卻區(qū)中分別設(shè)有溫度傳感器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種連續(xù)式快速降溫退火爐，其特征是：所述冷卻裝置由環(huán)設(shè)于爐管外部的冷卻水箱，以及進水口、出水口和水閥門組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種連續(xù)式快速降溫退火爐，其特征是：所述加熱裝置由環(huán)設(shè)于爐管外部的保溫殼體、電熱管和兩電極端子組成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種連續(xù)式快速降溫退火爐，其特征是：所述預(yù)熱區(qū)、緩冷區(qū)和出口區(qū)爐管上的各進氣管均設(shè)有進氣閥門和進氣流量計。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種連續(xù)式快速降溫退火爐，其特征是：所述預(yù)熱區(qū)、緩冷區(qū)和出口區(qū)爐管上的各進氣管均設(shè)有進氣閥門和進氣流量計。