[實用新型]一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器

有效

• 申請號: 201820876634.7
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208860503U
• 公開（公告）日: 2019-05-14
• 發明（設計）人: 李樹志
• 申請（專利權）人: 深圳市力感科技有限公司
• 主分類號: G01L1/20
• 分類號: G01L1/20;G01L9/00
• 代理公司: 深圳市沃德知識產權代理事務所(普通合伙) 44347
• 代理人: 于志光

一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，包括導電線路層、壓感材料層、以及夾置于壓感材料層與導電線路層之間的隔離層，所述薄膜壓力傳感器包括一圓形部和自圓形部外側延伸的一條狀尾部，所述導電線路層包括若干感應區、以及由感應區向外引出的輸出引線，所述壓感材料層包括與各感應區一一相對應的若干電阻，所述若干感應區包括一位于所述圓形部中央的一中心感應區及多個邊緣感應區，所述多個邊緣感應區沿周向均勻間隔設置，并圍繞所述中心感應區整體排布呈環形。

技術領域

本實用新型涉及傳感器技術領域，特別是涉及一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器。

背景技術

壓力傳感器通常由具有電極的襯底和彈性導電薄膜構成，其中薄膜為彈性材料和導電材料的混合體，與襯底間隔有一小的距離。初始時，薄膜與襯底上的電極間隔開；當薄膜被使用者按壓時，凹陷變形與電極接觸并導通。隨著薄膜與電極接觸面積的增加，薄膜與電極之間的電流增加，從而改變器件的輸出電阻，最終根據輸出電阻的變化得到電阻與所受壓力的關系。然而，上述壓力傳感器結構僅能測試傳感器整體所受壓力的大小，無法判斷受力是夠均衡。

發明內容

有鑒于此，提供一種能測試受壓是否均衡的壓力平衡傳感器。

一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，包括導電線路層、壓感材料層、以及夾置于壓感材料層與導電線路層之間的隔離層，所述薄膜壓力傳感器包括一圓形部和自圓形部外側延伸的一條狀尾部，所述導電線路層包括若干感應區、以及由感應區向外引出的輸出引線，所述壓感材料層包括與各感應區一一相對應的若干電阻，所述若干感應區包括一位于所述圓形部中央的一中心感應區及多個邊緣感應區，所述多個邊緣感應區沿周向均勻間隔設置，并圍繞所述中心感應區整體排布呈環形。

較佳地，所述各感應區并聯設置，輸出引線包括公共引線與非公共引線，所述公共引線連接各感應區的第一端，所述非公共引線為多根，每一根非公共引線連接其中一感應區的第二端。

較佳地，所述公共引線為2根，分別位于輸出引線的兩側，非公共引線位于兩公共引線中間。

較佳地，所述若干電阻沿周向均勻間隔設置，整體呈環形。

較佳地，所述導電線路層還包括一中心感應區，所述中心感應區形成于所述若干感應區構成的環形的中央；所述壓感材料層的電阻還包括一正對中心感應區的中心電阻。

較佳地，所述感應區的線路呈輻射狀交錯設計。

較佳地，所述隔離層對應每一電阻/感應區形成一空腔。

較佳地，所述隔離層形成有連通孔連通各個空腔。

較佳地，所述隔離層上還形成有狹長的排氣槽，所述排氣槽的一端與空腔相連通；所述壓感材料層形成有排氣孔，所述排氣孔連通排氣槽的另一端與外界。

較佳地，所述排氣孔處設置有防水透氣膜。

相較于現有技術，本實用新型壓力平衡傳感器形成多個沿周向排布的感應區，得到各感應區受力的大小，據此判斷傳感器所受壓力是否均衡，使得傳感器不僅可以測試受力的大小，還可以測試受力分布是否均衡，對壓力的檢測更為全面。

附圖說明

圖1為本實用新型壓力平衡傳感器的一實施例的示意圖。

圖2為圖1所示壓力平衡傳感器的導電線路層的示意圖。

圖3為圖1所示壓力平衡傳感器的壓感材料層的示意圖。

圖4為圖1所示壓力平衡傳感器的隔離層的示意圖。

圖5為本實用新型壓力平衡傳感器的另一實施例的示意圖。

圖6為圖5所示壓力平衡傳感器的導電線路層的示意圖。