[實用新型]一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201820876634.7 | 申請日： | 2018-06-07 |
| 公開（公告）號： | CN208860503U | 公開（公告）日： | 2019-05-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李樹志 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市力感科技有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/20 | 分類號： | G01L1/20;G01L9/00 |
| 代理公司： | 深圳市沃德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44347 | 代理人： | 于志光 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 感應(yīng)區(qū) 薄膜壓力傳感器 導(dǎo)電線路層 壓感材料層 邊緣感應(yīng) 受力平衡 中心感應(yīng) 圓形部 感測 均勻間隔設(shè)置 圓形部中央 輸出引線 條狀尾部 外側(cè)延伸 隔離層 電阻 排布 | ||
1.一種用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，包括導(dǎo)電線路層、壓感材料層、以及夾置于壓感材料層與導(dǎo)電線路層之間的隔離層，其特征在于：所述薄膜壓力傳感器包括一圓形部和自圓形部外側(cè)延伸的一條狀尾部，所述導(dǎo)電線路層包括若干感應(yīng)區(qū)、以及由感應(yīng)區(qū)向外引出的輸出引線，所述壓感材料層包括與各感應(yīng)區(qū)一一相對應(yīng)的若干電阻，所述若干感應(yīng)區(qū)包括一位于所述圓形部中央的一中心感應(yīng)區(qū)及多個邊緣感應(yīng)區(qū)，所述多個邊緣感應(yīng)區(qū)沿周向均勻間隔設(shè)置，并圍繞所述中心感應(yīng)區(qū)整體排布呈環(huán)形。
2.如權(quán)利要求1所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述各感應(yīng)區(qū)并聯(lián)設(shè)置，輸出引線包括公共引線與非公共引線，所述公共引線連接各感應(yīng)區(qū)的第一端，所述非公共引線為多根，每一根非公共引線連接其中一感應(yīng)區(qū)的第二端。
3.如權(quán)利要求2所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述公共引線為2根，分別位于輸出引線的兩側(cè)，非公共引線位于兩公共引線中間。
4.如權(quán)利要求1所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述感應(yīng)區(qū)的線路呈輻射狀交錯設(shè)計。
5.如權(quán)利要求1所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離層對應(yīng)每一電阻/感應(yīng)區(qū)形成一空腔。
6.如權(quán)利要求5所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離層形成有連通孔連通各個空腔。
7.如權(quán)利要求6所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述隔離層上還形成有狹長的排氣槽，所述排氣槽的一端與空腔相連通；所述壓感材料層形成有排氣孔，所述排氣孔連通排氣槽的另一端與外界。
8.如權(quán)利要求7所述的用于感測受力平衡的薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述排氣孔處設(shè)置有防水透氣膜。
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