[實用新型]蒸鍍裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820876134.3
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208733207U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小澤雅基;住谷利治;相澤雄樹
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能特機株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務(wù)所 11038
• 代理人: 張寶榮

本實用新型公開了一種能夠在閉合了蒸發(fā)源擋板的情況下防止蒸鍍材料從蒸發(fā)源擋板之間的間隙泄漏的蒸鍍裝置(1)。該蒸鍍裝置(1)具有蒸發(fā)源(3)和配置在所述蒸發(fā)源(3)上方的蒸發(fā)源遮擋組件(4)，所述蒸發(fā)源遮擋組件(4)包括至少兩個擋板部件，至少一個擋板部件可在遮擋位置和開啟位置之間運動，當處于遮擋位置時，所述至少兩個擋板部件拼合成擋板，以便在所述蒸發(fā)源(3)和被蒸鍍的基板(2)之間形成屏障；所述蒸鍍裝置(1)的特征在于，在拼合狀態(tài)下互相鄰近的至少一對擋板部件之間設(shè)置有遮蔽部(5)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種蒸鍍裝置，具體涉及一種能夠在閉合了蒸發(fā)源擋板的情況下防止蒸鍍材料從蒸發(fā)源擋板之間的間隙泄漏的蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

在利用蒸鍍裝置對被蒸鍍構(gòu)件進行蒸鍍時，將位于蒸發(fā)源上方的蒸發(fā)源遮擋組件開啟，露出下方的蒸發(fā)源，對蒸發(fā)源進行加熱，使蒸發(fā)源中的蒸鍍材料蒸發(fā)并附著到被蒸鍍構(gòu)件例如基板上。當位于蒸發(fā)源上方的基板的蒸鍍結(jié)束后，閉合蒸發(fā)源遮擋組件，將結(jié)束了蒸鍍的基板轉(zhuǎn)移到其他位置。

蒸發(fā)源遮擋組件一般通過組合多個蒸發(fā)源擋板而構(gòu)成，在蒸鍍作業(yè)結(jié)束后，多個蒸發(fā)源擋板彼此部分重合地閉合而形成一個整體的蒸發(fā)源遮擋組件，遮擋蒸鍍材料進入蒸鍍區(qū)域。借此期間將結(jié)束了蒸鍍的基板轉(zhuǎn)移走。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種能夠在閉合了蒸發(fā)源擋板的情況下防止蒸鍍材料從蒸發(fā)源擋板之間的間隙泄漏的蒸鍍裝置。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案如下：

一種蒸鍍裝置，具有蒸發(fā)源和配置在所述蒸發(fā)源上方的蒸發(fā)源遮擋組件，所述蒸發(fā)源遮擋組件包括至少兩個擋板部件，至少一個擋板部件可在遮擋位置和開啟位置之間運動，當處于遮擋位置時，所述至少兩個擋板部件拼合成擋板，以便在所述蒸發(fā)源和被蒸鍍的基板之間形成屏障；所述蒸鍍裝置的特征在于，在拼合狀態(tài)下互相鄰近的至少一對擋板部件之間設(shè)置有遮蔽部。

優(yōu)選的是，所述至少兩個擋板部件可在遮擋位置和開啟位置之間運動。

優(yōu)選的是，在所述至少一對擋板部件彼此之間有間隙，所述遮蔽部配置成填埋所述間隙。

優(yōu)選的是，所述遮蔽部設(shè)置在所述至少一對擋板部件中的一個上。

優(yōu)選的是，所述遮蔽部設(shè)置在相應(yīng)的擋板部件的邊緣位置處。

優(yōu)選的是，在拼合狀態(tài)下，所述至少一對擋板部件部分重疊而形成重疊區(qū)域，所述遮蔽部位于所述重疊區(qū)域中。

優(yōu)選的是，所述遮蔽部的形狀為帶狀。

優(yōu)選的是，在至少一個擋板部件的周緣設(shè)置有凸肋，所述凸肋的凸起方向為背離所述蒸發(fā)源。

優(yōu)選的是，所述蒸發(fā)源遮擋組件包括N個擋板部件，分別為第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件；其中，在拼合狀態(tài)下，所述第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件順次鄰近，且所述第一擋板部件與所述第N擋板部件鄰近；并且，所述第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件各自到所述蒸發(fā)源的距離依次變大，所述遮蔽部設(shè)置在所述第一擋板部件和所述第N擋板部件之間。

優(yōu)選的是，除了所述第一擋板部件和所述第N擋板部件的互相鄰近的部位外，其它的、擋板部件相互鄰近的部位互相接觸。

優(yōu)選的是，所述遮蔽部的高度尺寸等于除所述第一擋板部件和所述第N擋板部件外的其余擋板部件的高度尺寸之和。

優(yōu)選的是，所述N等于3。

優(yōu)選的是，每個所述擋板部件可旋轉(zhuǎn)地安裝，并配置有樞轉(zhuǎn)軸和樞轉(zhuǎn)臂，所述擋板部件固定至所述樞轉(zhuǎn)臂，所述樞轉(zhuǎn)臂圍繞所述樞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選的是，所述蒸發(fā)源遮擋組件包括兩個擋板部件，所述兩個擋板部件為大小不同的扇形，當處于開啟位置時，兩個擋板部件互相重疊。