[實用新型]蒸鍍裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820876134.3
• 申請日: 2018-06-07
• 公開（公告）號: CN208733207U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小澤雅基;住谷利治;相澤雄樹
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能特機(jī)株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 張寶榮

1.一種蒸鍍裝置(1)，具有蒸發(fā)源(3)和配置在所述蒸發(fā)源(3)上方的蒸發(fā)源遮擋組件(4)，所述蒸發(fā)源遮擋組件(4)包括至少兩個擋板部件，至少一個擋板部件可在遮擋位置和開啟位置之間運動，當(dāng)處于遮擋位置時，所述至少兩個擋板部件拼合成擋板，以便在所述蒸發(fā)源(3)和被蒸鍍的基板(2)之間形成屏障；所述蒸鍍裝置(1)的特征在于，

在拼合狀態(tài)下互相鄰近的至少一對擋板部件之間設(shè)置有遮蔽部(5)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述至少兩個擋板部件可在遮擋位置和開啟位置之間運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

在所述至少一對擋板部件彼此之間有間隙，所述遮蔽部(5)配置成填埋所述間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述遮蔽部(5)設(shè)置在所述至少一對擋板部件中的一個上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述遮蔽部(5)設(shè)置在相應(yīng)的擋板部件的邊緣位置處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

在拼合狀態(tài)下，所述至少一對擋板部件部分重疊而形成重疊區(qū)域(6)，所述遮蔽部(5)位于所述重疊區(qū)域(6)中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述遮蔽部(5)的形狀為帶狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

在至少一個擋板部件的周緣設(shè)置有凸肋(7)，所述凸肋(7)的凸起方向為背離所述蒸發(fā)源(3)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述蒸發(fā)源遮擋組件(4)包括N個擋板部件，分別為第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件；

其中，在拼合狀態(tài)下，所述第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件順次鄰近，且所述第一擋板部件與所述第N擋板部件鄰近；并且，所述第一擋板部件、第二擋板部件、……、第N擋板部件各自到所述蒸發(fā)源(3)的距離依次變大，所述遮蔽部(5)設(shè)置在所述第一擋板部件和所述第N擋板部件之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

除了所述第一擋板部件和所述第N擋板部件的互相鄰近的部位外，其它的、擋板部件相互鄰近的部位互相接觸。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述遮蔽部(5)的高度尺寸等于除所述第一擋板部件和所述第N擋板部件外的其余擋板部件的高度尺寸之和。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述N等于3。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

每個所述擋板部件可旋轉(zhuǎn)地安裝，并配置有樞轉(zhuǎn)軸(9)和樞轉(zhuǎn)臂(8)，所述擋板部件固定至所述樞轉(zhuǎn)臂(8)，所述樞轉(zhuǎn)臂(8)圍繞所述樞轉(zhuǎn)軸(9)旋轉(zhuǎn)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的蒸鍍裝置(1)，其特征在于，

所述蒸發(fā)源遮擋組件(4)包括兩個擋板部件，所述兩個擋板部件為大小不同的扇形，當(dāng)處于開啟位置時，兩個擋板部件互相重疊。