[實(shí)用新型]晶舟及爐管裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201820867205.3
• 申請(qǐng)日: 2018-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN208315519U
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邢國兵;方桂芹;黃仁德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/67
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;陳麗麗

1.一種晶舟，包括頂板、底板以及位于所述頂板與所述底板之間的若干支柱，其特征在于，所述支柱中設(shè)置有用于支撐晶圓的晶圓槽；所述晶圓槽的槽壁設(shè)置有沿自所述底板指向所述頂板方向突出的凸起部，所述凸起部用于與所述晶圓接觸并支撐所述晶圓，以減少所述晶圓與所述晶圓槽的接觸面積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部與所述晶圓接觸的表面為曲面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部為半圓弧狀結(jié)構(gòu)，所述晶圓與所述半圓弧狀結(jié)構(gòu)的頂點(diǎn)接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部包括相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面；所述第一表面與所述晶圓槽的槽壁連接，所述第二表面與所述晶圓接觸，且所述第一表面的寬度大于所述第二表面的寬度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部包括相對(duì)設(shè)置的第一表面和第二表面；所述第一表面與所述晶圓槽的槽壁連接，所述第二表面與所述晶圓接觸，且所述第一表面的寬度等于所述第二表面的寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部包括多個(gè)子凸起，多個(gè)所述子凸起相互之間具有一預(yù)設(shè)距離的間隔，且多個(gè)所述子凸起共同支撐所述晶圓。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述支柱的數(shù)量為三根或四根。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶舟，其特征在于，所述凸起部的高度為0.5mm～4mm。

9.一種爐管裝置，其特征在于，包括一腔室；所述腔室內(nèi)具有如權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的晶舟。