[實用新型]一種晶體鍵合夾具

有效

• 申請號: 201820865517.0
• 申請日: 2018-06-06
• 公開（公告）號: CN208271864U
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發明（設計）人: 田鵬;高占成
• 申請（專利權）人: 北京椿樹電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶體鍵合夾具，包括支撐板（8）和頂板（5），其特征在于：所述支撐板（8）和頂板（5）之間通過液壓氣缸（1）連接，所述液壓氣缸（1）固定安裝在支撐板（8）表面兩端，所述支撐板（8）表面設有第一鍵合框（9）和第二鍵合框（13），所述第一鍵合框（9）位于第二鍵合框（13）一側，所述第一鍵合框（9）和第二鍵合框（13）內壁兩側均設有固定塊（10），所述第一鍵合框（9）內固定塊（10）的上方設有第一承壓板（12），所述第二鍵合框（13）內固定塊（10）的上方設有第二承壓板（14），所述第一承壓板（12）和第二承壓板（14）底面與支撐板（8）之間設有液壓伸縮缸（11），所述第一承壓板（12）和第二承壓板（14）表面兩端均設有立板（16），所述立板（16）一側通過滑塊（15）與第一鍵合框（9）、第二鍵合框（13）之間滑動連接，所述立板（16）遠離滑塊（15）一側設有夾緊板（18），所述夾緊板（18）與立板（16）之間通過彈簧（17）連接，所述頂板（5）底面設有第一鍵合壓板（2）和第二鍵合壓板（6），所述第一鍵合壓板（2）位于第二鍵合壓板（6）的一側，所述第一鍵合壓板（2）和第二鍵合壓板（6）均通過支撐桿（3）與頂板（5）底面連接，所述支撐板（8）底端設有底座（7）。

2.根據權利要求1所述一種晶體鍵合夾具，其特征在于：所述第一鍵合壓板（2）、第二鍵合壓板（6）的底面大小略小于第一鍵合框（9）、第二鍵合框（13）的開口大小。

3.根據權利要求1所述一種晶體鍵合夾具，其特征在于：所述第一鍵合壓板（2）位于第一鍵合框（9）的正上方，所述第二鍵合壓板（6）位于第二鍵合框（13）的正上方，所述第一鍵合壓板（2）和第二鍵合壓板（6）上均設有內凹口（19）。

4.根據權利要求1所述一種晶體鍵合夾具，其特征在于：所述第一鍵合框（9）和第二鍵合框（13）結構相同，所述第一鍵合框（9）和第二鍵合框（13）內壁兩側上端均設有供滑塊（15）滑動的滑槽（20）。

5.根據權利要求1所述一種晶體鍵合夾具，其特征在于：所述第一承壓板（12）、第二承壓板（14）的表面和第一鍵合壓板（2）、第二鍵合壓板（6）的底面均設有棉墊（4）。